半導体製造ライン向け化学分析サービスを開始、OEG：高崎に化学分析拠点を開設

[馬本隆綱，EE Times Japan]

クリーンルーム内の空気汚染や薬液に混入した不純物を分析

　OKIエンジニアリング（OEG）は、群馬県高崎市に化学分析拠点「高崎ラボ」を開設し、「半導体製造ライン向け化学分析サービス」を2025年7月4日より始めた。半導体の品質に影響を及ぼす可能性が高い不純物に特化した化学分析サービスを行う。

高崎ラボ開所式の模様［クリックで拡大］ 出所：OEG

　半導体デバイスは微細化や高積層化が進み、製造ラインでは加工時に用いる化学物質を、より厳密に管理する必要がある。ところが半導体工場のなかには、適切な分析を行う技術を保有していなかったり、関連する技術を維持管理するコストが高かったりして、化学分析業務を外部に委託するケースも増えているという。

　そこでOEGは、クリーンルーム内の空気汚染や製造工程で用いられる薬液に混入した不純物の種類と量を分析するサービスを始めた。高崎ラボはOKI西横手工場内に設けた。従業員は現在2人。主な分析装置として濃縮イオンクロマトグラフィやICP発光分光分析装置を導入している。価格は個別見積もり。

　具体的には、高度な分析技術を持つ専門技術者が、クリーンルーム内におけるイオン成分など空気中微量化学成分の濃度測定や、製造工程で用いられる酸やアルカリ、有機溶剤などに混入した不純物の分析を代行して行う。対面での技術相談や試料の直接受け渡し、緊急対応といったサービスも提供する。

　同サービスは当面、高崎市および周辺地域の半導体工場を対象にスタートした。今後は、半導体関連サービスも含めた設備の増強、長野県や新潟県など隣接地域に対するサービスの拡大なども予定している。