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TDK、CO2検出用のMEMSガスセンサーを発売：小型で極めて低い超消費電力を実現
TDKは、小型で消費電力が小さく、高い精度でCO▽▽2▽▽濃度を直接検出できるMEMSガスセンサープラットフォーム「TCE11101」を開発、販売を始めた。家電機器や自動車、医療機器などさまざまな分野におけるCO▽▽2▽▽検出用途に向ける。
新材料とMEMSプロセス技術、AIを独自に組み合わせ
TDKは2021年1月、小型で消費電力が小さく、高い精度でCO2濃度を直接検出できるMEMSガスセンサープラットフォーム「TCE11101」を開発、販売を始めた。家電機器や自動車、医療機器などさまざまな分野におけるCO2検出用途に向ける。
TCE11101は、「SmartEnviro」シリーズの1つである。新たな材料やMEMSプロセス技術の開発と機械学習機能などを組み合わせることによって、高精度の測定を可能にした。検出範囲は400〜5万ppmで、消費電力は1mW以下である。
パッケージは外形寸法が5×5×1mmと極めて小さい28端子LGAで供給する。しかも、金属製キャップと一体型の防塵フィルターを搭載しており、長い動作寿命を可能とした。内蔵したASICは、自動キャリブレーションなどを行うとともに、データ出力や設定用のI2Cインタフェースを備えている。こうしたことから、外付け部品も最小限に抑えることができるという。
TDKは、TCE11101応用システムを迅速に開発、評価するためのソフトウェア付き開発キット「DK-11101」も同時に用意し、提供を始めた。
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