産業技術総合研究所(産総研)と東京科学大学、量子科学技術研究開発機構(QST)らによる研究グループは、ダイヤモンド量子センサーを用い、交流と直流の電流比を同じ装置で測定できる「電流比較器」を開発した。
馬本隆綱()
主要な国内半導体製造装置メーカー(集計対象:8社)の2027年3月期(2026年度)第1四半期の業績は、売上高と営業利益の前年比増減率を公表している7社中、増収増益は4社だった。
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2026年に創立80周年を迎えた計測機器メーカーのTektronix。日本法人のテクトロニクスで代表取締役を務める瀬賀幸一氏に、計測機器のトレンドや日本での事業戦略、強みなどを聞いた。
村尾麻悠子()
群馬大学とタイ・ラジャマンガラ工科大学イサーン校による国際共同研究チームは、ノイズが多い環境でも短い時間で変化する周波数を、高精度に追跡できる周波数推定法「OS-ZFM」を開発した。
馬本隆綱()
新潟大学の研究グループは2026年8月、岐阜大学や大阪大学と共同で、光周波数コムを用い、生体組織や透明材料のわずかな動きを捉えることができる「3D計測技術」を開発したと発表した。
馬本隆綱()
エスペックは、低電圧領域に特化した絶縁信頼性評価システム「AMI-SPM」を販売する。AI半導体用の先端パッケージなどにおいて、微小な絶縁劣化(漏れ電流)を高い精度で検出することができる。
馬本隆綱()
ノベルクリスタルテクノロジーはファインセラミックセンター(JFCC)と共同で、次世代パワー半導体材料の「酸化ガリウム」について、結晶中の欠陥を3次元的に可視化する技術を開発した。非破壊で高速に大面積の欠陥分布を評価でき、検出精度も高い。
馬本隆綱()
OKIエンジニアリング(以下、OEG)は「TECHNO-FRONTIER」(2026年7月15〜17日、東京ビッグサイト)に出展し、Wi-Fi 6E対応の車載機器向け電磁両立性(EMC)耐性試験サービスなどを紹介した。これまでは海外で試験する必要があったが、国内で完結できることにより開発コスト、期間の削減が期待できる。
杉山康介()
シチズンファインデバイスは「TECHNO-FRONTIER」(2026年7月15〜17日、東京ビッグサイト)に出展し、光プローブを用いた電流波形測定用電流センサー「OpECS(オペックス)」を展示した。センサー部は光ファイバーと磁性材料で構成され、電磁ノイズの影響を受けないためパワー半導体の正確な測定が可能だ。
杉山康介()
NTTデータCCSは「TECHNO-FRONTIER 2026」で、製品の動作音から異常を検知するソリューション「Monone」を紹介した。接触式の専用マイクで周囲の騒音の影響を抑えながら集音し、AIが正常音との違いを分析する。
浅井涼()
東北大学は、高アスペクト比エッチングホールの構造を非破壊で3次元(3D)画像として可視化することに成功した。数百層の3D NANDフラッシュメモリ開発などにおいて、その内部構造を非破壊で評価することが可能となる。
馬本隆綱()
HIOKI(日置電機)は2026年7月8日、電力計の誤差校正の基準に用いる新たな計測標準を開発したと発表した。新開発の熱量計を用いた手法で、国家計量標準機関で用いられる校正手法を含む従来手法と比べ、約10倍の高い精度を実現したという。
杉山康介()
リガクは、半導体計測装置のサービスエンジニアに向けた実機トレーニングを行う拠点として大阪工場内に「リガクソリューションセンター大阪」を開設した。技術教育機能を集約、拡充することでグローバルなサービス体制を強化していく。
馬本隆綱()
産業技術総合研究所(産総研)は、曲面ミラーの絶対形状を非接触かつ2nm精度で計測できる装置を開発した。極端紫外線(EUV)露光装置や放射線施設などで用いられる光学素子の製造や開発、評価といった用途に適用できる。
馬本隆綱()
OKIは、AIサーバなどに搭載される大型高密度基板の目視検査時間を約8割削減できる「目視判定AI技術」を開発した。同社が提供する「まるごとEMS」サービスに組み込むことで、AOI(自動光学検査)後に目視で行う検査時間を短縮し、検査精度を高められる。
馬本隆綱()
アドバンテストは、シリコンフォトニクス向けテストソリューションの開発で、光回路設計IPを持つOpenLight Photonicsと提携する計画である。
馬本隆綱()
東レリサーチセンター(TRC)は、半導体デバイスや有機ELなどの積層デバイス内部における電流の通り道を可視化する「表面分析サービス」を始めた。半導体デバイスの性能ばらつきや不良原因の解析などが可能となる。
馬本隆綱()