堀場エステック・コリアが韓国EtaMaxを買収：先端材料・半導体分野の事業を強化

HORIBAグループの堀場エステック・コリアは、パワー半導体向けウエハー検査装置の開発や製造、販売を行うEtaMax（韓国水原市）の買収を完了した。化合物半導体ウエハーの歩留まり改善や品質管理の高度化に向けたソリューション事業を強化する。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

化合物半導体ウエハーの歩留まり改善などを支援

　HORIBAグループの堀場エステック・コリアは2025年4月7日、パワー半導体向けウエハー検査装置の開発や製造、販売を行うEtaMax（韓国水原市）の買収を完了したと発表した。化合物半導体ウエハーの歩留まり改善や品質管理の高度化に向けたソリューション事業を強化する。

左がEtaMaxのCEOを務めるJung Hyundon氏、右は堀場製作所取締役兼堀場エステック社長を務める堀場弾氏［クリックで拡大］ 出所：堀場製作所

　HORIBAグループは、中長期経営計画「MLMAP 2028」の中で、「先端材料・半導体」分野を注力事業の1つに掲げている。2028年には同分野で2350億円の売上高を見込む。これを達成するため、化合物半導体ウエハー検査装置の研究開発強化に取り組んでおり、今回のEtaMax買収もその一環。

　今後は、HORIBAグループが得意とする分光技術と、EtaMaxが保有する化合物半導体ウエハー欠陥検査に関する豊富な知見やソフトウェア技術を融合し、ウエハー検査装置のラインアップ拡充と課題解決に向けた提案力の強化に取り組む。

　なお、EtaMaxは2008年の創立で、主にフォトルミネッセンスという分析技術を用いたウエハー検査装置を展開している。化合物半導体ウエハーの「均一性評価」や「微細な欠陥の種類を判別」するような用途に強みを持つ。