「27年度後半の2nm量産誓う」 Rapidus、解析センター開設：千歳で開所式を実施（1/3 ページ）

Rapidusは2026年4月11日、製造した2nm先端半導体の解析、評価などを行う「解析センター」および後工程の研究開発拠点「Rapidus Chiplet Solutions（RCS）」を、北海道千歳市に開設した。同日に開所式が行われ、経済産業大臣の赤澤亮正氏や北海道知事の鈴木直道氏、千歳市市長の横田隆一氏による祝辞が贈られた。

[杉山康介，EE Times Japan]

　Rapidusは2026年4月11日、製造した2nm先端半導体の解析、評価などを行う「解析センター」および後工程の研究開発拠点「Rapidus Chiplet Solutions（RCS）」を、北海道千歳市に開設した。同日には、解析センターで開所式が行われた。

Rapidus解析センター外観［クリックで拡大］

テープカットの様子。詳細は記事最後に記載［クリックで拡大］

製造と解析を隣同士で可能　後工程まで一貫製造に向けても前進

　解析センターはRapidusの先端半導体の製造開発拠点「IIM（Innovative Integration for Manufacturing）-1」の隣に位置し、同拠点で製造した2nm先端半導体の物理解析や環境・科学分析、電気特性評価、信頼性評価を行う。最先端の電子顕微鏡の設置基準に対応していて、建築基準法の1.5倍の耐震性能を備えるほか、省エネ型空調の採用など環境負荷低減にも配慮する。

　RCSはIIM-1近隣のセイコーエプソン千歳事業所内に位置する。2024年10月から設置を開始し、クリーンルーム構築後の2025年4月から装置の導入を開始。同年12月に披露された600mm角再配線層（RDL）インターポーザーパネルの試作品を製造するなど一部稼働していたが、この度、本格稼働を開始する。

RCSが開設されるセイコーエプソン千歳事業所［クリックで拡大］出所：Rapidus

Rapidus取締役会長の東哲郎氏

　Rapidus取締役会長の東哲郎氏は「Rapidusが目標とするのは、世界最速のサイクルタイムを持つラインを構築すること。2025年4月に2nm半導体の生産パイロットラインの立ち上げを開始し、7月に2nm GAA（Gate All Around）トランジスタの動作確認に成功、12月には600mm角RDLインターポーザーパネルを公開できた。ここまで想定スケジュール通り、とんとん拍子で進んでいる。そして解析センターの開設によって、半導体が正しく作れているか確認しながら製造を進められる。これを隣同士でできることが、生産ラインが最速であることの証明にもなる」とする。

　「解析センターはRapidus社員だけでなく、サプライヤーのパートナーや海外R＆D拠点のエンジニアも訪れ、さまざまな検証をする場だ。産官学、海外を含め、最先端半導体を製造する大きな拠点になる」（東氏）

Rapidus代表取締役社長CEOの小池淳義氏

　Rapidus代表取締役社長CEOの小池淳義氏は「解析センターでは、最先端半導体の製造において大事な物理解析や環境解析、信頼性評価などを、これまでにないスピードで実施できる。従業員は今までにない情熱をもって解析を円滑に進められる」と語る。

　解析センターの建設期間はおよそ1年2カ月で「IIM-1の建設に引き続き、鹿島建設が猛暑の中、極寒の中も滞りなく工事を進めてくれた」（小池氏）という。またRCSは2025年4月の装置導入開始からおよそ1年で、今回の開所に至った。小池氏は「Rapidusの夢だった、前工程と後工程の一貫製造に向けて大きく前進できた。2027年度後半に2nm半導体の量産を開始することをここに誓いたい」と意気込みを述べた。