プロセス技術
「ムーアの法則」を追う微細加工技術などプロセス技術に関する情報をお届け。
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プロセス技術
スループットはSEMの1万倍以上：
東京大学の研究グループは、レーザー励起光電子顕微鏡（Laser-PEEM）を用い、レジストに描画された潜像を極めて高速に検査できる方法を開発した。この方法を用いると半導体製造の露光工程における検査時間を大幅に短縮できる。
（2024年09月05日）
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人テク2024,事前情報,プロセス技術,部品/材料
「人とくるまのテクノロジー展 2024 YOKOHAMA」で展示：
（2024年05月20日）
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AI,企業動向,LSI,プロセス技術
省電力のチップ開発／製造を目指す：
（2024年05月16日）
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