歩留まり改善を加速、SCREEN PE初の基板リペア装置：L/S 15μm、5μmの2モデル

SCREEN PE ソリューションズ（以下、SCREEN PE）は2026年3月6日、プリント基板向けリペア装置「SpairD（スペアード）」の開発を発表した。同社初の基板リペア装置で、本製品によってリペア工程にもソリューションを提供していく。

[杉山康介，EE Times Japan]

高性能チップ向け基板の歩留まり改善に貢献

　SCREEN PE ソリューションズ（以下、SCREEN PE）は2026年3月6日、プリント基板向けリペア装置「SpairD（スペアード）」の開発を発表した。L/S（ライン/スペース）が15μmの「SPD15」とL/Sが5μmの「SP-D5」の2モデル展開で、SPD15は同年3月、SP-D5は6月に発売する。

左＝SP-D15、右＝SP-D5［クリックで拡大］ 出所：SCREEN PE ソリューションズ

　近年、高性能チップのニーズ伸長によって、プリント基板の微細化や大型化、多層化が進んでいる。基板の製造難易度や品質要求も高まり、高水準での歩留まり改善が求められるようになったことから、SCREEN PEとして初の基板リペア装置開発に至ったという。SpairDは高性能レーザーによって幅広い基板に使用可能で、25μ×15μmの欠陥サイズに対応。約20秒のタクトタイム、直感的な操作性も備えるとする。

　SCREEN PEでは、SpairDによってリペア工程にもソリューションを提供し、歩留まり向上や廃棄材料の削減に寄与するとしている。