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「世界最大級」フォトレジスト製造棟が完成東京応化工業：郡山工場で2026年11月から稼働

東京応化工業は、郡山工場（福島県郡山市）に建設していた半導体用フォトレジストの新製造棟が完成したと発表した。2026年11月から稼働予定だ。

» 2026年10月13日 13時30分公開

[馬本隆綱，EE Times Japan]

高品質化や供給能力拡大などを目指す

　東京応化工業は2026年10月、郡山工場（福島県郡山市）に建設していた半導体用フォトレジストの新製造棟が完成したと発表した。2026年11月から稼働を予定する。

　郡山工場では、極端紫外線（EUV）露光装置用やArF用のフォトレジストを始め、各種半導体用フォトレジストを製造している。半導体市場は今後も成長が見込まれることから、フォトレジストの高品質化や供給能力の拡大、生産効率の改善などを目的に新製造棟の建設を決めた。

　新製造棟は2024年7月に着工し2026年10月に竣工した。建築面積は4800m²、投資額は約230億円である。新製造棟は「フォトレジストとしては世界最大級」（同社）だという。

新製造棟の外観［クリックで拡大］出所：東京応化工業

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