ニコン、0.5μm解像度のデジタル露光装置を開発へ：重ね合わせ精度±0.15μm以下、50％省エネ目指す

ニコンによれば、新たに始めるデジタル露光装置の開発が、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）が進める「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（補助）」に採択された。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

解像度は0.5μm（L／S）、重ね合わせ精度は±0.15μm以下

　ニコンは2026年10月、新たに着手するデジタル露光装置の開発が、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）が進める「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（補助）」に採択されたと発表した。

　ニコンは、先端半導体製造装置開発における「大面積かつ高精度露光装置開発」というテーマに対し、「高精細アドバンストパッケージ用デジタル露光装置の開発」を提案した。高性能半導体デバイス製造の後工程では技術革新が進む。例えば「パネルレベルパッケージング」の工程では、大型基板に高精細かつ高密度のRDL（再配線層）を形成するための露光装置が必要となる。

　ニコンは今回のデジタル露光装置開発において、解像度や精度、生産性を向上させる。具体的には解像度が0.5μm（ライン／スペース）で、重ね合わせ精度が±0.15μm以下、そして従来装置に比べ50％の省エネを実現するデジタル露光装置の開発を目指すという。

デジタル露光装置の外観イメージ（写真は現行のDSP-100）［クリックで拡大］ 出所：ニコン