ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2021年4月10日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリング那珂工場(茨城県ひたちなか市)の「N3棟」(300mm生産ライン)について、4月9日午後9時ごろ、クリーンルームの運転を再開したと発表した。【変更あり】
ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2021年4月10日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリング那珂工場(茨城県ひたちなか市)の「N3棟」(300mm生産ライン)について、4月9日午後9時ごろ、クリーンルームの運転を再開したと発表した。
クリーンルーム内部の床、床下、壁、天井の清掃および、天井のエアフィルターの交換により、クリーンルーム全体の除染を完了したとする。
この作業においては、ルネサスの取引先、製造装置メーカー、部材メーカー、建設会社より1日当たり最大約1600人が支援したという。
ルネサスはN3棟の生産再開について、当初の目標通り火災発生から1カ月以内(4月18日ごろ)を目指す。
【更新情報:2021年4月12日16:10 ルネサス エレクトロニクスよりクリーンルーム内部の写真提供があり、追加しました。】
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