水晶方式で小型化した振動センサー、エプソンが発売：生産現場の微振動を計測

エプソンは、生産現場などにおける微細な振動を測定できる新しいスマート振動センサー「M-A750FB」を発表した。独自の水晶方式により、従来のサーボ式加速度センサーと同等の精度で小型化を実現している。

[浅井涼，EE Times Japan]

従来と同等の精度で小型化と軽量化を実現

　エプソンは2023年5月17日、生産現場などにおける微細な振動を測定できる新商品として、スマート振動センサー「M-A750FB」を発売すると発表した。精密機器を用いた生産現場や、精密機器の開発および製造現場での振動計測に向ける。

　半導体製造装置、画像検査装置といった精密機器は設置環境の微細な振動の影響を受けやすい。工場建屋の地盤や床、周辺装置から伝わる周波数の低い振動は人の感覚では気付きにくく、従来そうした低周波振動の計測にはサーボ式加速度センサーが使われてきた。M-A750FBは、エプソンの水晶材料の製造技術と水晶微細加工技術により、サーボ式加速度センサーと同等の精度で小型化と軽量化を実現したという。サイズは62.4mm×36.2mm×46.2mmで、重量は約100g。

「M-A750FB」本体、無線通信用専用USBレシーバー、USBケーブル［クリックで拡大］出所：エプソン

　エプソン広報担当者によると、振動センサーとPCを手軽に連携させられる点からM-A750FBを「スマート」とうたっているという。同製品は最大1000Hzのサンプリング周波数で3軸の加速度計測が行える。計測した加速度データはCSVファイルとして保存し、計算ソフトなどでの表示や分析に利用できる。加速度、速度、変位の3つの振動状態を一度に読み取ることができるトリパタイトグラフ表示機能を用いると、Windows搭載のPC上で振動の状態を読み取れる。グラフはExcelファイルとして保存して振動計測結果の簡易レポートを作成できるという。無線通信用専用USBレシーバーの使用により、Windows搭載PCと無線通信での計測も可能。

　M-A750FBは2023年5月17日に受注を開始し、同年6月28日に発売する。