Infineon Technologiesがドイツ・ドレスデンに300mmウエハー新工場を開設した。パワー半導体などを製造し、AIデータセンターや車載、再生可能エネルギーといった市場の需要に対応。フル稼働時には年間で50億ユーロ程度の売上高を見込む。
Infineon Technologies(以下、Infineon)は2026年7月2日(ドイツ時間)、ドイツ・ドレスデンの300mmウエハー新工場を正式に開設した。パワー半導体などを製造し、AIデータセンターや車載、再生可能エネルギーといった市場の需要に対応する。フル稼働時には年間で50億ユーロ程度の売上高を見込む。同社は「新工場によってドレスデン拠点の製造能力は倍増し、インテリジェントパワー半導体およびアナログ/ミックスドシグナル技術の世界最大の工場が誕生することになる」と述べている。
Infineonは2022年11月にこの新工場の建設計画を発表した。総投資額は同社の単独投資として最大規模の50億ユーロだ。なお欧州半導体法およびIPCEI ME/CT(欧州共通利益に適合する、マイクロエレクトロニクスと通信技術に関する重要プロジェクト)に基づき、約10億ユーロの資金援助を受けている。
同社では既に、ドレスデンおよびオーストリアのフィラッハに300mmウエハー工場を有する。新工場は、ドレスデンの既存工場に隣接する形で建設したもので、パワー半導体および、アナログ/ミックスドシグナル半導体を製造。フル稼働時には年間で50億ユーロ程度の売上高を見込んでいるという。Infineonは新工場を「Smart Power Fab」と呼称している。同工場は高度にデジタル化/自動化され、フィラッハの300mmウエハー工場と密に連携した「One Virtual Fab」として運用する。
工場は2023年5月に着工。当初は稼働開始時期を2026年秋としていたが、迅速な工事/立ち上げを進めていて、約3カ月前倒しでの開設となった。Infineonは2026年2月にはAI関連投資を5億ユーロ前倒し、2026会計年度の総投資額が27億ユーロになる見込みだと発表。AIデータセンター向けソリューションの需要対応に向けた新工場の立ち上げ加速を表明している。
約2万9000m2の土地に建てられた新工場は、6階建てで高さは40m超。15万m3のコンクリートと2万5000トンの鉄骨が使用され、2600人の建設作業員が従事したという。なお、Infineonによると新工場は約1000人の新規雇用を創出する予定だ。
工場の中核となるクリーンルームは4階に設置。クリーンルームは、重さ5000トンの無柱鉄骨構造によって支えられている。高さ9mのトラス梁が60mを超えるスパンを橋渡しすることで、柱のない大空間を実現し、生産設備の配置や製造ラインの構築に高い柔軟性を確保したとしている。同社は「フル生産体制に達すると約1000台の最先端製造装置が数百に及ぶ工程を経て、高度に複雑な半導体を製造する」と説明している。
効率的な半導体製造を支えるのが、自動搬送システムだ。ウエハーは最大25枚ずつ、「FOUP(Front Opening Unified Pod)」に収納され、天井レール上を走行するOHT(Overhead Hoist Transport)によって装置間を自動搬送される。搬送車はモノレールのように天井レールを走行し、FOUPをミリメートル単位の位置精度で目的の装置まで運ぶ。搬送システムのレール総延長は約12kmで、FOUPの最高搬送速度は毎秒3.5mだという。

ウエハーは最大25枚ずつ、「FOUP(Front Opening Unified Pod)」に収納され、天井レール上を走行するOHT(Overhead Hoist Transport)によって装置間を自動搬送される[クリックで拡大]出所:Infineon Technologies中央制御システムが全ウエハーの現在位置と、次にどの製造装置へ搬送すべきかを常時把握していて、目的の半導体チップを製造するために必要な工程が正しい順序で実行。高効率な生産を支える。人が直接触れることはなく、ほこりの混入や無駄な搬送経路も排除されている。人が介入するのは、設備の保守点検やトラブル対応などの限られた場面だけだとしている。
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