製造装置の国産化を加速する中国：半導体開発だけではない（2/4 ページ）

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

地域別の製造装置市場で中国がトップに

　World Fab Forecastによれば、半導体工場の着工数において、2016年に中国が13工場、中国を除く世界全てが9工場となり、中国での半導体工場が建設ラッシュに入った。その着工数は2017年に、中国が26工場、中国を除く世界全てが22工場と、中国の半導体工場建設ラッシュの勢いが止まらない（関連記事：「半導体前工程の設備投資額、2019年まで4年連続成長へ」。

　半導体工場を建設したら次は、製造装置を搬入する。図1は、地域別の前工程製造装置市場の推移を示したグラフである。2017年に、Samsungが3次元NANDフラッシュに約2兆円を投資したため、韓国市場が160億米ドルに急拡大している。Samsungは、向こう6年間、この投資規模を維持する見込みであり、製造装置市場も高止まりが続くだろう。

図1　地域別の半導体製造装置市場（クリックで拡大）

　一方、2017年に約60億米ドルだった中国市場は、2018年に約93億米ドルとなって台湾をわずかな差で抜いて2位となった。2019年には約150億米ドルに成長して1位の韓国に接近し、2020年には韓国を抜いて世界最大の市場になるという予測もある。

　それでは、装置の最大市場となりつつある中国は、各種の製造装置をどこから調達するのだろう？

各製造装置の企業別シェア

　図2に装置ごとの企業別シェアと市場規模を示す。尚、米国企業は赤、日本企業は黄色で示した。

図2　製造装置の要素技術の市場規模と企業シェア（2017年） （クリックで拡大）

　まとめると以下のようになる。

• 露光装置では、オランダのASMLがシェア86.9％と市場を独占している。2018年から出荷が本格化したEUV（極端紫外線）を供給できるのはASMLしかないため、この分野はASMLの独壇場になる
• レジストを塗布し、露光後に現像するコーター／デベロッパーは、日本の東京エレクトロン（TEL）が84.8％のシェアを独占している
• ドライエッチング装置では、米Lam Research（Lam）がシェア49.2％で1位、以下、TELが23.9％、Applied Materials（AMAT）が19.3％、日立ハイテクノロジーズが3.3％と続いている
• CVD装置では、1位のAMATが38.3％、2位のLamが34.5％とわずかな差であり、3位のTELが6.2％となっている
• PVD装置は、AMATがシェア78.1％と市場を独占し、日本のアルバックのシェアは7.6％しかない
• 熱処理装置は、TELが49.6％、日立国際電気が46.1％と、日本の2社がシェアを独占している
• CMP装置は、1位のAMATが72.1％、2位の荏原製作所が27.1％となっている
• バッチ式洗浄装置は、日本のSCREENが52.9％、TELが25.3％となっている
• 枚葉式洗浄装置は、1位のSCREENが41.6％、2位のTEL24.5％、3位の韓国SEMESが22.3％、4位のLamが11.6％となっている
• パーテイクル検査装置は、1位のKLA-Tencorが51.3％、2位のAMATが11.9％、3位の日立ハイテクが11.7％となっている
• パターン欠陥検査装置は、1位のKLA-Tencorが71.9％とシェアを独占し、2位のAMATが11.9％、3位の日立ハイテクが11.7％となっている
• 測長SEMは、日立ハイテクが75.5％とシェアを独占し、2位のAMATは24.5％となっている

　以上から分かることは、第一に、一部韓国メーカーがシェアを奪っている装置もあるが、ほぼ日米欧で独占しているといえる。第二に、「1強＋その他」、または、「2強」の状態にある装置が多い。つまり、各装置市場は、多くは日米の企業に寡占化されている。

　そのため、米国が中国に対して「米国製装置は売らない」という圧力をかけ、さらに米国から日本に対して、「中国に装置を売るな」という圧力がかかったら、中国は大変困ったことになる。中国は、露光装置を除く、ほぼ全ての製造装置を、日米から購入することができなくなるからだ。すると、「中国製造2025」の1丁目1番地にある半導体産業の強化が、無力化される。

　これに対抗するには、中国が半導体製造装置を国産化するしか道はない。果たしてそれは、可能なのか？