パワー半導体の「ワイヤー1本」も測定 光プローブ電流センサー：光ファイバーにセンサー搭載

シチズンファインデバイスは「TECHNO-FRONTIER」（2026年7月15〜17日、東京ビッグサイト）に出展し、光プローブを用いた電流波形測定用電流センサー「OpECS（オペックス）」を展示した。センサー部は光ファイバーと磁性材料で構成され、電磁ノイズの影響を受けないためパワー半導体の正確な測定が可能だ。

[杉山康介，EE Times Japan]

　シチズンファインデバイスは「TECHNO-FRONTIER」（2026年7月15〜17日、東京ビッグサイト）に出展し、光プローブを用いた電流波形測定用電流センサー「OpECS（オペックス）」を展示した。

OpECS［クリックで拡大］

水晶デバイスの薄膜技術でファイバー先端にセンサー搭載

　シチズンファインデバイスは、シチズンのグループ企業として水晶デバイスや時計部品、自動車部品などを手掛ける。2024年に同社が開発したOpECSは、光ファイバーの先端に磁性材料のセンサーヘッドを組み合わせた構造で、電流が流れる際に発生する磁界をファラデー回転を利用して測定し、電流に変換する。

最細φ0.45mmのセンサーヘッド［クリックで拡大］出所：シチズンファインデバイス

　パワー半導体の測定では、特有の高周波や大電流を正確に測定することが難しい、基板に実装されたものを直接測定できないなどの課題があった。OpECSのセンサーヘッドは電気部品を使っていないため、電磁ノイズの影響を受けず正確な測定が可能だという。

　センサーヘッドは最細でφ0.45mmと小さく、基板実装されたパワー半導体のワイヤー1本1本の電流を測定することもできる。シチズンファインデバイス担当者は「水晶のタイミングデバイスは、水晶の両端に電極を取り付けて製造する。そこで培った薄膜技術や光学、脆性材料加工の技術を融合し、2024年当時で世界初の光プローブ電流センサーを開発した」と述べる。

　測定したい対象との接触具合で測定値が変わったりと、使いこなすにはコツが必要だが、「電磁ノイズの影響を受けない極小ヘッドで、これまで測定したことがないポイントまで測定できるため、企業の研究チームや大学の論文執筆などでも活用されている」（シチズンファインデバイス担当者）とする。正確な測定を補助するアダプターも展開する。