Lam Researchフィラッハ拠点40周年 Rapidus「最先端半導体支える重要な役割」：スピン洗浄技術の中核（1/2 ページ）

Lam Research（以下、Lam）は2026年7月、オーストリア・フィラッハ拠点で40周年記念式典を開催した。同拠点は現在、Lamのスピン洗浄技術／ウェットプロセス装置の開発／製造を担うグローバル中核拠点になっている。式典ではRapidusが同拠点について「最先端ロジック半導体などの実現を支える重要な役割を果たしている」と評価するメッセージを寄せた。

[永山準，EE Times Japan]

　Lam Research（以下、Lam）は2026年7月30日（現地時間）、オーストリア・フィラッハ拠点で40周年記念式典を開催した。同拠点は現在、Lamのスピン洗浄技術／ウェットプロセス装置の開発／製造を担うグローバル中核拠点になっている。式典ではRapidusが同拠点について「最先端ロジック半導体などの実現を支える重要な役割を果たしている」と評価するメッセージを寄せた。

オーストリア・フィラッハ拠点［クリックで拡大］ 出所：Lam Research

「歩留まり左右する重要工程」ウェット洗浄装置を製造

　Lamのウェット装置事業は、米国オレゴン州テュアラティンでウエハー向けおよび先端パッケージング向けの電解めっき装置、オーストリア・ザルツブルクでパネルレベルパッケージング（PLP）向けのめっき／ウェットプロセス装置、そしてこのフィラッハで、ウエハー向けウェット洗浄／ウェットプロセス装置、具体的には「DV-Prime」や「EOS」ファミリーを開発／製造している。

ウェット洗浄装置「EOS」シリーズ［クリックで拡大］ 出所：Lam Research

　フィラッハ拠点の歴史は、1986年設立のウエハー洗浄装置メーカー「SEZ」にさかのぼる。SEZはウェットプロセス技術を強みに事業を拡大していて、2008年にLamが買収した。買収後も研究開発と製造機能はそのままフィラッハに残され、現在ではLamのスピン洗浄／ウェットプロセス技術の開発／製造を担うグローバル中核拠点となっている。

　Lamでウェット装置技術システム事業を統括するAaron Fellis氏は、同社がSEZを買収した背景について「当時のLamはエッチング装置を主力としていたが、ウェット洗浄やウェットエッチング技術はドライエッチングに非常に重要であり、互いを補完する技術だった。そのため、その技術を取り込むためにSEZを買収した」と説明する。その後も同拠点には継続的な投資を続け、研究開発ラボや製造能力を拡充してきたという。

　現在、フィラッハ拠点には40カ国以上から集まった1000人超の従業員が在籍し、研究開発、製造、物流を担っているという。また、高校卒業後の若者を対象とした職業訓練プログラムも運営していて、電気／機械分野の専門教育を通じて半導体技術者を育成。「修了後は、Lamでの研究職に就くための準備が整う」としている。

Lamでウェット装置技術システム事業を統括するAaron Fellis氏。この日はオーストリアの伝統衣装で登壇した

　式典においてFellis氏は「AIが世界中の産業を変革する中、より高性能で高効率な半導体への需要は拡大し続けている。その需要に応えるには半導体製造のあらゆる工程で極めて高い精度が求められ、フィラッハはその中で重要な役割を担っている」と説明した。

　同氏はさらに「フィラッハはLamの全てのスピン洗浄装置の開発／製造を担うグローバル拠点だ。ウエハー洗浄は半導体製造で最も繰り返される工程の1つであり、歩留まりを左右する重要工程でもある。ここで開発／製造されたシステムは、先端パッケージングや最先端ロジック、AI時代を支える広帯域メモリ（HBM）の製造を支えている」と強調した。