先端半導体市場に貢献、フルヤ金属の新工場が完成：装置向け熱電対／石英保護管を製造

フルヤ金属が北海道千歳市に建設を進めてきた「新千歳工場」が完成し、2026年9月14日に竣工式が行われた。新工場が本格稼働すれば、半導体製造装置向けの熱電対（温度センサー）や石英保護管などの生産能力がこれまでの2倍に増えるという。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

本格稼働で生産能力2倍に

　フルヤ金属は、北海道千歳市に建設を進めてきた「新千歳工場」が完成したとして、2026年9月14日に竣工式を行った。新工場が本格稼働すれば、半導体製造装置向けの熱電対（温度センサー）や石英保護管などの生産能力がこれまでの2倍に増える。

左からフルヤ金属の古屋尭民社長と千歳市の横田隆一市長［クリックで拡大］ 出所：フルヤ金属

　半導体製造工程において、ウエハーの酸化／熱拡散などを行う拡散炉では、炉内の温度管理を厳密に行わないと、半導体デバイスの性能や歩留まりに大きく影響するという。こうした中で同社は、1000℃を超える温度領域でも正確な計測ができる「熱電対」や、それを保護するための「高純度石英保護管」などを生産し供給している。

　近年はAIの普及などもあって、先端半導体デバイスを中心に需要が急増している。このため同社は新たな製造拠点を建設し、グローバルな顧客への迅速な供給体制を確立していくことにした。

　新千歳工場（千歳市・千歳流通業務団地内）は、敷地面積が約1万5000m²、延べ床面積は約6400m²で、2027年春の本格稼働を目指す。投資総額は約45億円だ。新工場では高度なクリーンルーム環境の中で、つくば工場（茨城県）で製造する独自技術「R-SP製法」を用いた高強度で長寿命の「貴金属熱電対素線」と、新千歳工場の熟練技術者により「火加工」などを施した「高純度石英保護管」を組み合わせ、高品質の製品を供給できる生産体制を構築していく。

　つくば工場との機能共有および、相互補完体制を整えることで、万が一の災害時にも安定供給できるようにした。次世代の熱管理技術により、脱炭素や省エネルギーの実現にも配慮している。

新千歳工場の外観［クリックで拡大］ 出所：フルヤ金属