2020年、5nm世代でEUV時代が到来か：電子ブックレット

EE Times Japanに掲載した記事を読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、ASMLのEUV（極端紫外線）に関わる展望について紹介します。

[EDN Japan]

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2020年、5nm世代でEUV時代が到来か

　アイティメディアがモノづくり分野の読者向けに提供する「EE Times Japan」「EDN Japan」「MONOist」に掲載した主要な記事を、読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、ASMLのEUV（極端紫外線）に関わる展望について紹介します。

2020年、5nm世代でEUV時代が到来か

ASMLは2016年4～6月にEUV（極端紫外線）リソグラフィ装置を4台受注し、2017年には12台を販売する計画を明かした。これを受けて業界では、EUV装置によるチップ量産が、5nmプロセス世代での製造が見込まれる2020年に「始まるかも」との期待感が広がっている。【著：Rick Merritt】

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