ST、7.3億ユーロでイタリアにSiCウエハー工場新設へ：2023年の生産開始予定

STMicroelectronicsは2022年10月5日（スイス時間）、今後5年間で7億3000万ユーロを投じ、イタリアにSiC（炭化ケイ素）ウエハーの新工場を建設する、と発表した。6インチ（150mm）のSiCエピタキシャルウエハーを生産する予定で、2023年の生産開始を目指す。

[永山準，EE Times Japan]

　STMicroelectronics（以下、ST）は2022年10月5日（スイス時間）、今後5年間で7億3000万ユーロを投じ、イタリアにSiC（炭化ケイ素）ウエハーの新工場を建設する、と発表した。6インチ（150mm）のSiCエピタキシャルウエハーを生産する予定で、2023年の生産開始を目指す。

欧州初の6インチのSiCエピ基板量産施設

　新工場は、STのイタリア・カターニア拠点に既存SiCデバイス製造施設と併設する形で建設する予定で、STは、「欧州で初めて6インチのSiCエピタキシャル基板を量産する施設であり、製造フローの全工程が統合される」と説明。また、将来的に8インチ（200mm）ウエハー開発に取り組むことも決定しているという。

　新工場は2023年から生産開始予定。STは、「自社供給と商社供給との間でバランスの取れたSiC基板の供給を可能にする」としている。

　投資額は5年間で7億3000万ユーロ。欧州委員会によって承認された助成金で、「復興レジリエンス・ファシリティ」（RRF）計画の一環として、イタリアから2億9250万ユーロの財政支援を受ける。STによると、フル稼働時には約700人の直接雇用が創出される見込みという。

　STではカターニアとシンガポールの2拠点でSiC製品を製造しており、中国、モロッコの後工程拠点で組立とテストを行っている。同社は、「新施設に対する投資は、こうしたノウハウに基づいており、2024年までに40％の自社基板調達を達成するという目標において重要なマイルストーンとなる」とコメントしている。