TDK、QEIのRF電源事業を買収 半導体製造装置向け事業を強化：成膜やエッチング装置向け技術

TDKは、米国ニュージャージー州に本社を置くQEIコーポレーション（以下、QEI）の電源ビジネス関連資産を買収したと発表した。QEIは、半導体製造工程におけるプラズマプロセス用途の高周波（RF）電源装置およびインピーダンスマッチング装置を設計／製造している。TDKは今回の資産譲受によって、同分野における事業基盤の強化を図る。

[永山準，EE Times Japan]

　TDKは2025年6月20日、米国QEIコーポレーション（以下、QEI）の電源ビジネス関連資産を買収したと発表した。QEIは、半導体製造工程におけるプラズマプロセス用途の高周波（RF）電源装置およびインピーダンスマッチング装置を設計／製造している。TDKは今回の資産譲受によって「半導体製造装置市場での事業基盤の強化を目指し、AIエコシステム全体への貢献をさらに高める」と述べている。

出所：TDK

　TDKは半導体製造装置市場においては既に、直流電源装置を展開し一定のプレゼンスを築いてきた。今回新たに、QEIの成膜やエッチングなどのプロセス向けRF電源ソリューションを加えることで、製品ポートフォリオ拡充と、顧客への提供価値の向上を目指す。

　AI、IoT、データセンター、電気自動車（EV）といった成長分野の拡大を背景に、半導体デバイスへの需要が世界的に急増する中、高精度かつ高信頼な製造装置へのニーズも高まりを見せている。こうした市場環境において、TDKは、QEIの技術と人材を加えることで、AIエコシステム全体に対する貢献のさらなる拡大を図るとしている。

　TDKラムダアメリカスの社長であるジェフ・ボイラン氏は「QEIの半導体プラズマ用途向け電源ソリューションと、当社の直流電源装置を組み合わせることで、10億米ドルを超えるとされるRF電源市場への参入が可能となる」と展望を語った。またTDKの販売／サポート／サービスのグローバルネットワークを活用することで、新製品群の成長を加速できるとの見通しを示している。

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