オートフォーカス機構や小型燃料電池など、どんどん広がるMEMS技術の用途：電子部品 タイミングデバイス

[R. Colin Johnson，EE Times]

　フランスの市場調査会社であるYole Development社は、「MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術があまり適用されてこなかった新種の部品が現れるだろう」とするレポートを発表した。

　同社の予測によると、新しい用途に向けたMEMS部品の市場規模は2009年の5億5000万米ドルから2015年には20億米ドルに成長する。MEMS市場全体では、2009年の70億米ドルから2015年には180億米ドルに達するという。

　同社が発表したレポートの代表執筆者であるEric Mounier氏は、「研究開発の段階から商用製品に発展する、新しいMEMS部品が続々登場している。このようなMEMS部品は、MEMS技術の新しい可能性を示すものになり得る」と指摘した。

　新しい可能性を示すものとして挙げられたものの中には、MEMS発振器のようにすでによく知られたものもある。MEMS発振器の売上高は、新しいMEMSアプリケーションの市場規模である5億5000万米ドルの大部分を占める。MEMS発振器の市場は近いうちに、アイス・ホッケーのスティックが描く曲線のように急上昇し、MEMS技術開発の成功を象徴するような存在になるだろうと予測する。

　このほかの例としては、ナビゲーション装置に向けた小型電子コンパスや、温度上昇による電磁放射を測定する小型熱量計（ボロメーター）などが市場規模を伸ばしつつある。

　Yole社によれば、現時点ではまだ研究段階にあるが、間もなく実用化が期待されるMEMS部品として、コンパクト・カメラに使う小型光学レンズに向けたオートフォーカス機構や、エネルギー・ハーベスティング用モジュール、マイクロ・ディスプレイ、小型燃料電池、小型スピーカー、超小型RFIDタグ、深い反応性エッチングを施した高級時計向け精密機構、プローブ・カードや微小ピッチ用テスト装置などに向けたマイクロチップなどがあるという。

　同社は、MEMSデバイスに新たに取り組んでいる企業30社を挙げている。さらに、長くMEMS技術に取り組んでいる企業として、米Agiltron社、米Akustica社、イスラエルAudio Pixels社、英BAE Systems社、オーストラリアbluechiip Pty社、英Cambridge Mechatronics社、米Ceradyne社、米Discera社、米DRS Technologies社、スウェーデンFaun Infrared社、米FLIR Systems社、米Fluke社、スイスFrederique Constant社、ドイツGesellschaft fur Diamantprodukte社、香港Gold Peak Industries社、米Honeywell社、スイスJaeger-Lecoultre社、米L-3 Communications社、米LensVector社、スイスMB＆F社、米MEMSIC社、米MicroGen Systems社、トルコMikrosistemler社、スイスMimotec社、スイスNivarox-FAR社、米NoblePeak Vision社、オランダNXP Semiconductors社、スイスOmega社、米ON Semiconductor社、スイスOptotune社、スイスPatek Philippe社、米Pixtronix社、米PNI Sensor社、ノルウェーPoLight社、英QinetiQ社、米Qualcomm社、米Rhevision Technology社、ドイツRobert Bosch社、韓国Samsung Electronics社、米Sand 9社、米Santa Barbara Focalplane社、米Sarnoff社、イスラエルSCD SemiConductor Devices社、ドイツSensitec社、ノルウェーSensonor Technologies社、スイスSigatec社、米Siimpel社、米Silicon Clocks社、米SiTime社、デンマークSonion社、ドイツTemicon社、フランスUlis社、米Unipixel社、フランスVarioptic社、米Veratag社、フィンランドVTI Technologies社、ベルギーXenics社といった社名を挙げている。日本国内のメーカーとしてはNEC Avio赤外線テクノロジー、愛知製鋼、旭化成エレクトロニクス、アルプス電気、エプソントヨコム、パナソニック、三菱電機、ヤマハが挙がっている。