パッケージの組み立てプロセス技術を紹介している。今回は、FO-WLP(Fan Out-Wafer Level Package)の組み立て工程を解説する。
電子情報技術産業協会(JEITA)が発行した「2019年度版 実装技術ロードマップ」に関する完成報告会(2019年6月4日に東京で開催)と同ロードマップの概要をシリーズでご報告している。今回はその第28回である。
本シリーズの第23回から、第3章「電子デバイスパッケージ」の概要を紹介している。「電子デバイスパッケージ」は第1節から第5節までの5つの節によって構成される。「3.1 はじめに」「3.2 デバイス技術動向」「3.3 各種パッケージ技術動向」「3.4 パッケージ組立プロセス技術動向」「3.5 まとめ」である。前回から、第3章第4節「3.4 パッケージ組立プロセス技術動向」の概要をご紹介している。
前回は、第1項「3.4.1 材料プロセス技術」の内容である、代表的な半導体パッケージの組み立てフローを説明した。具体的には、QFN(Quad Flat Non-leaded package)、FBGA(Fine-pitch BGA)/BGA(Ball Grid Array)、WL-CSP(Wafer Level-Chip Scale Package)、FO-WLP(Fan Out-Wafer Level Package)を取り上げた。
今回はロードマップの第3項「3.4.3 WLP、PLP、部品内蔵基板プロセス技術」に記述された、FO-WLPの組み立て工程を解説していく。FO-WLPは、数多くの入出力端子を収容可能な多ピンパッケージでありながら、小型・薄型・低コストを両立させるという優れた性質を備える。FO-WLPの組み立て工程には、いくつかの手法が存在する。
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