東芝D＆S、大分拠点の200mmラインの稼働を一部再開：完全復帰は3月上旬目標

[永山準，EE Times Japan]

　東芝デバイス＆ストレージは2022年2月4日、同年1月22日に大分県などで発生した地震の影響について同日時点の状況を発表した。地震発生後に稼働停止していたジャパンセミコンダクター大分事業所（大分県大分市）の200mmラインの拡散工程について、稼働を一部再開したという。

　同社グループは、2022年1月22日の地震発生直後に本社（神奈川県川崎市）に災害対策本部を立ち上げ、情報収集とその対応、対策にあたっている。

　ジャパンセミコンダクター大分事業所では地震発生後、一部の装置で破損が見られたことから操業を停止していた。同26日、150mmラインについては稼働に問題がないことを確認し順次稼働を再開。200mmラインも同28日に一部装置の稼働を再開したものの、拡散工程については石英などの破損が多いことから引き続き停止して修理、交換を進めていた。今回の発表では、この拡散工程についても、一部の復旧が完了し、稼働を再開したと説明。2月14日頃には新規投入も順次再開する方針だという。

　同社は3月上旬には被災前の生産能力に復帰することを目標に、修理、交換などを進めていくとしている。