九大子会社、EUV光照射と解析評価の新会社設立：来るべきEUV光時代を見据え

九州大学は、100％子会社の「九大OIP」が、EUV（極端紫外線）光照射と解析評価サービスを提供する事業会社「EUVフォトン」を2024年7月29日付で設立する。新会社ではEUV光の照射に加え、照射結果を解析評価できる人材の育成にも取り組む。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

照射結果を解析評価できる人材の育成にも取り組む

　九州大学は、100％子会社の「九大OIP」が、EUV（極端紫外線）照射と解析評価サービスを提供する事業会社「EUVフォトン」を2024年7月29日付で設立すると発表した。新会社ではEUV光の照射に加え、照射結果を解析評価できる人材の育成にも取り組む。

　最先端の半導体開発や製造工程では、「EUV光」が不可欠となっており、最先端工場では既に、EUV露光装置の導入も始まっている。実用化EUV光源は、九州大学の岡田龍雄教授（現在は九州大学名誉教授）らが、2005年に論文発表した技術が基盤となっている。ところが、EUV光を利用したその後の研究開発は、海外の試験研究機関に頼っているのが現状だという。

　そこで九州大学は、来るべきEUV光時代を見据えEUV光照射と解析評価を、国内で行っていくための会社を設立することにした。新会社ではこれまで九州大学が蓄積してきたEUV光照射に必要な研究成果やノウハウ、人材、導入済みの評価用設備などを活用していく。

　新会社は、「EUVフォトン」で、資本金は100万円。本社は福岡県福岡市に置く。半導体材料メーカーや素材メーカー、デバイスメーカー、半導体製造装置メーカーなどを対象に、2025年度中にも、照射サービスを始める。加えて、教育や人材育成にも取り組む予定である。