Rapidus、試作は25年7月以降 性能に自信も「楽観できない」：2nmパイロットライン立ち上げ開始（1/2 ページ）

Rapidusは、2025年度の新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の研究開発事業の計画／予算承認を受けた。これを受け、2nmパイロットラインの立ち上げを開始する。

[浅井涼，EE Times Japan]

　Rapidusは2025年4月1日、2025年度の新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の研究開発事業の計画／予算承認を受けたと発表した。

　Rapidusは同日、同事業についての会見を実施し、登壇したRapidus 社長兼CEOの小池淳義氏がプロジェクトの進捗と今後の計画について説明した。

Rapidusの進捗と計画［クリックで拡大］ 出所：Rapidus

Rapidusが北海道千歳市に建設した開発製造拠点「IIM」の外観

2nmパイロットラインの立ち上げを開始

Rapidus 社長兼CEOの小池淳義氏

　Rapidusが承認を受けたのは、NEDOの「ポスト5G情報通信システム基板強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（委託）」における「日米連携に基づく2nm世代半導体の集積化技術と短TAT製造技術の研究開発」および「2nm世代半導体のチップレットパッケージ設計・製造技術開発」だ。

　1つ目の「日米連携に基づく2nm世代半導体の集積化技術と短TAT製造技術の研究開発」は、2022年11月に採択された半導体前工程に関するプロジェクトだ。このプロジェクトに基づき、Rapidusは開発製造拠点「IIM」（北海道千歳市）の建設やIBMへのエンジニア派遣を行ってきた。

　2024年12月には、極端紫外線（EUV）露光装置の搬入も行った。小池氏は「非常に大きな装置なので、装置を分割し、ジャンボジェット機を3機使って搬入した」と述べた。

極端紫外線（EUV）露光装置の搬入の様子

　Rapidusは「2025年4月1日からパイロットラインの立ち上げを開始する」と発表した。小池氏によるとパイロットラインの立ち上げ開始とは、必要な装置搬入が完了し、条件出しを始められる状況にあることを指すという。実際にテストチップが確認できるのは、2025年7月中旬以降になる見込みだ。

　小池氏はパイロットラインの立ち上げ状況について「性能に自信はあるが、まだ『1合目』で、決して楽観はできない。緊張感を持って進めていく段階だ」と述べた。

　先行顧客向けのPDK（Process Design Kit）リリースも開始する。小池氏は「PDKをリリースし、試作を開始できる環境を整えることはことしの大きなテーマでもある」とした。

　小池氏は量産に向けて「歩留まりや信頼性の確保が今後の大きな課題になる」と述べた。