2nm対応の電圧／温度センサー AIや車載向け：温度精度±1.0℃、電圧精度±1.5％

イスラエルproteanTecsは、2nmプロセスノードに対応したVDDコア専用LVTS（Local Voltage and Thermal Sensor）を発表した。高い精度と統合性を実現した電圧・温度センサーとして、次世代AIやクラウド、自動車などの用途に提案していく。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

GAAベース設計として“初”の低電圧コアトランジスタを採用

　イスラエルproteanTecsは2025年9月、2nmプロセスノードに対応したVDDコア専用LVTS（Local Voltage and Thermal Sensor）を発表した。高い精度と統合性を実現した電圧・温度センサーとして、次世代AIやクラウド、自動車などの用途に提案していく。

　先端エレクトロニクス分野においては、半導体デバイスにおける発熱や電圧変動を高い精度で監視し、システムの品質や信頼性を高めるための対策が求められる。ところが、プロセスノードが2nm以下の技術領域では、従来のダイオードベースやリングオシレーター方式によるセンサーだと、測定精度や統合性などの点で課題となっていた。

　新たに開発したLVTSは、「GAA（Gate All Around）ベース設計として初となる低電圧コアトランジスタを採用した」という。これにより、温度精度±1.0℃、電圧精度±1.5％を実現した。

　proteanTecsはこれまで、5nmおよび3nmのプロセスノードでLVTSのシリコン実証を終えており、今回は2nmにも対応した。新製品は2つのバリエーションを用意した。1つは外部電圧測定を追加することで、測定可能な電圧範囲を0Vまで拡張したタイプ。もう1つは、極小リモート温度センサーを搭載することで、ホットスポット温度測定のハブとして機能するタイプである。

2nm対応の電圧・温度センサー外観イメージ［クリックで拡大］ 出所：proteanTecs