サーバ冷却をサポート ミツミ電機の高精度デジタル風量センサー：風速3m/秒タイプと10m/秒タイプ

ミツミ電機は、小型のMEMS熱式フローセンサーチップと補正技術を組み合わせることによって、高い測定精度と温度安定度を実現したデジタル出力風量センサー「MMS651シリーズ」を発売した。データセンターのサーバ冷却やスマートビルの空調管理（HVAC／VAV）などの用途に向ける。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

小型MEMS熱式フローセンサーチップと補正技術を組み合わせ

　ミツミ電機は2026年4月、小型のMEMS熱式フローセンサーチップと補正技術を組み合わせることによって、高い測定精度と温度安定度を実現したデジタル出力風量センサー「MMS651シリーズ」を発売した。データセンターのサーバ冷却やスマートビルの空調管理（HVAC／VAV）などの用途に向ける。

MMS651シリーズの外観［クリックで拡大］ 出所：ミツミ電機

　MMS651シリーズとして今回販売するのは、クリーンルームのダウンフローなど微風計測に適した風速3m/秒タイプ「MMS651P003N1」と、空調ダクトやファン制御など広範な用途に向けた風速10m/秒タイプ「MMS651P010N1」の2種類。

　測定精度はMMS651P003N1の場合、風速が0.3m/秒以上で±3％F.S.、MMS651P010N1の場合は、風速4m/秒以上で±5％R.D.、風速4m/秒未満で±2％F.S.である。温度変化による影響は±2％F.S./10℃となっている。

　パッケージの外形寸法は22.5×21×7mmと小さい。専用の基板などを用意しなくても、コネクター接続によってダクトや筐体に設置し、配線することができるという。インタフェースはI²Cを採用した。センサー内部で補正計算を行い、風速値をデジタル値で直接出力できるため、システム側のマイコン負荷を軽減できる。

　MMS651シリーズの電源電圧範囲は3.0〜3.6V、動作温度範囲は−10〜60℃、応答速度は90ミリ秒未満。分解能は16ビットである。