3インチ単結晶ダイヤモンドウエハーの生産技術確立：4インチ結晶の開発にも着手

Orbray（オーブレー）と英Element Six（エレメントシックス）は、直径3イチ（76.2mm）の単結晶ダイヤモンド結晶の生産技術を確立した。4インチ結晶の開発に着手するとともに、2インチウエハーの量産準備が最終段階にあることも明らかにした。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

2インチウエハーの量産準備は最終段階、早期の製品化目指す

　Orbray（オーブレー）と英Element Six（エレメントシックス）は2026年6月、直径3インチ（76.2mm）の単結晶ダイヤモンド結晶の生産技術を確立したと発表した。4インチ結晶の開発に着手するとともに、2インチウエハーの量産準備が最終段階にあることも明らかにした。

　単結晶ダイヤモンドは、究極の半導体材料として注目されている。Orbrayは、独自のステップフロー成長法を用い、2インチの単結晶ダイヤモンドウエハー「KENZAN Diamond」を開発したと2021年9月に発表した。2024年6月には、ダイヤモンドウエハーの量産技術および量産設備を持つElement Sixと、知的財産のクロスライセンスを結び、共同開発を行ってきた。

　今回はその第1弾として、3つの成果を発表した。その1つは「3インチ単結晶ダイヤモンド結晶の生産技術を確立した」ことである。大口径化によりウエハー1枚当たりのチップ収量が増え、コスト低減が可能となる。現在は研磨技術の開発に取り組んでいる。

　2つ目は、「4インチ（100mm）単結晶ダイヤモンド結晶の開発に着手した」ことだ。ウエハーの4インチ化により、既存の半導体製造ラインへの対応が可能となる。

　3つ目は、「2インチ（50.8mm）単結晶ダイヤモンドウエハーの量産準備が最終段階を迎えた」ことだ。米国オレゴン州にあるElement Sixのグレシャム工場で量産段階を迎えている。デバイスメーカーや研究機関におけるデバイスの試作および評価用として製品化を急ぐ。

単結晶ダイヤモンドウエハーの外観。左から1インチ、2インチ、3インチ［クリックで拡大］ 出所：Orbray