「SiC」と「GaN」、勝ち残る企業はどこか？（前編）：知財で学ぶエレクトロニクス（1）（5/5 ページ）

[菅田正夫，知財コンサルタント＆アナリスト]

Creeと組んだ三菱化学

　三菱化学は1971年に販売を開始したGaAs（ガリウムヒ素）ウエハーに続き、LED用GaNウエハー向けに開発を進めてきました。そして、「MOCVD装置によるLED製造用GaN系エピタキシャルウエハーの量産技術」と「NTTアドバンステクノロジ（NTT-AT）の製造ノウハウ」を融合させ、電子デバイスへの利用が可能なGaN系エピタキシャルウエハーの量産体制確立を目指しています。既に、LED向けGaNウエハーについて、Creeのウエハー製法や製品に関する特許の独占実施権を獲得しています^＊20）。

＊20） 三菱化学とCreeのライセンス契約の発表資料（PDF）。三菱化学の有価証券報告書 第17期（平成22年4月1日-平成23年3月31日）のp.32には以下の記述（PDF）がある。「契約締結先：（アメリカ）クリー社、内容：窒化ガリウム基板特許の実施許諾、契約締結日：平成20年11月7日、有効期間：平成20年11月から特許消滅日まで、対価：一時金及びランニング・ロイヤルティー」。

　フランス国立技術研究機関（CNRS）発のベンチャー企業Lumilog（ルミログ）は、現在SAINT-GOBAINの傘下に入り、当初から電子デバイス用GaN基板^＊21）のユーザー開拓に進み、低価格化を狙っています。

＊21） SAINT-GOBAINのGaN基板に関するWebページ。

　東レ・ダウコーニングはGaN on Siへの取り組みも加え、広範囲のデバイスニーズをカバーできる体制を目指しています^＊22）。

＊22） 東レ・ダウコーニングによるGaN基板に関するWebページ。

　日立電線は、サファイア基板とGaN成長層との間に、微細な網目構造（ナノネット）をもつTiN（窒化チタン）の薄膜を挟み込んで結晶を成長させています^＊23）。結晶成長時に、TiN膜の界面にミクロンオーダーの微小なボイド（空隙）が多数形成されるため、ダメージなく大面積のGaN結晶を簡単に剥離できる「ボイド形成剥離（VAS）法」を開発し、高品質なGaN基板の生産・販売を開始しています。VAS法とナノネットによる製造技術の確立で、面内均一の低転位密度を実現するLED用GaNエピタキシャルウエハーに参入しています。いずれはパワー半導体用への展開も考えられます。

＊23） 日立電線による「大型高均一GaN基板の量産技術開発」に関する概要説明。

　2007年に古河機械金属との業務提携^＊24）で強固な経営基盤を構築したパウデックは、高品位GaN結晶を安価なサファイア基板上に形成したGaNエピタキシャルウエハー供給を目指しており、パワー半導体の試作にも取り組んでいます。

＊24） 古河機械金属とパウデックの資本・業務提携に関する発表資料（Internet Archive）。

次回は地域別の特許件数を分析

　次回は、特許情報に基づき、地域ごとに次世代パワー半導体ウエハーの事業開発をふかんしてみることにしましょう。特許の検索方法についても紹介します。

筆者紹介

菅田正夫（すがた まさお） 知財コンサルタント＆アナリスト （元）キヤノン株式会社

メールアドレス：sugata.masao[a]tbz.t-com.ne.jp

1949年、神奈川県生まれ。1976年東京工業大学大学院理工学研究科化学工学専攻修了（工学修士）。

1976年キヤノン株式会社中央研究所入社。上流系技術開発（a-Si系薄膜、a-Si-TFT-LCD、薄膜材料〔例：インクジェット用〕など）に従事後、技術企画部門（海外の技術開発動向調査など）をへて、知的財産法務本部特許・技術動向分析室室長（部長職）など、技術開発戦略部門を歴任。技術開発成果については、国際学会／論文／特許出願〔日本、米国、欧州各国〕で公表。企業研究会セミナー、東京工業大学／大学院／社会人教育セミナー、東京理科大学大学院などにて講師を担当。2009年キヤノン株式会社を定年退職。

知的財産権のリサーチ・コンサルティングやセミナー業務に従事する傍ら、「特許情報までも活用した企業活動の調査・分析」に取り組む。

本連載に関連する寄稿：

2005年『BRI会報　正月号 視点』

2010年「企業活動における知財マネージメントの重要性−クローズドとオープンの観点から−」『赤門マネジメント・レビュー』9(6) 405-435

おことわり

本稿の著作権は筆者に帰属いたします。引用・転載を希望される場合は編集部までお問い合わせください。

より深く知的財産管理を学ぶには？：「知財マネジメント」コーナーへ

知財マネジメントの基礎から応用、業界動向までを網羅したMONOist「知財マネジメント」コーナーでは、知財関連の情報を網羅しています。併せてご覧ください。

「知財マネジメント」コーナーへ