1Uラックスペースで最大20チャネルを搭載したSMU：パルス発生器／デジタイザも統合

キーサイト・テクノロジーは、「TECHNO-FRONTIER 2023」に出展し、1U（ユニット）ラックスペースで最大20チャネル測定可能なソースメジャーユニット（SMU）「PZ2100」シリーズを展示した。パルス発生器／デジタイザも統合していて、省スペース／低コスト化に貢献する。

[半田翔希，EE Times Japan]

　キーサイト・テクノロジー（以下、キーサイト）は、「TECHNO-FRONTIER 2023」（2023年7月26〜28日／東京ビッグサイト）に出展し、1U（ユニット）ラックスペースで最大20チャネルまで測定可能なソースメジャーユニット（SMU）「PZ2100」シリーズを展示した。

「PZ2100」シリーズの展示［クリックで拡大］

　PZ2100シリーズは、同社既存のSMU「B2900」シリーズと同じフットプリントながら、パルス発生器やデジタイザを統合している。4スロット設計で、モジュールオプションには、用途別に、低電流／低電圧まで計測可能な「PZ2110A」、高速動作が特長の「PZ2120」「PZ2121A」、5チャネルまで拡張可能な「PZ2130」「PZ2131A」の5種類を用意している。仮にPZ2130／2131Aを4スロット全てで使用する場合、最大20チャネルまで拡張可能だ。

PZ2100シリーズのモジュールオプション一覧［クリックで拡大］ 出所：キーサイト

　複数のPZ2100シリーズ SMUを同期する際のタイミング精度は50ナノ秒以下。測定した結果（数値）は、PZ2100上のモニターでも確認できる。SCPIコマンドにも対応していて、LAN／USB／GPIB経由で多様なプログラム環境にも対応している。また、同社が提供するPath Wave IV曲線測定ソフトウェア「PW9251A」を使用すると、プログラミングをせずに複数チャネルで迅速な測定を行い、測定結果は1画面で確認できる。

左＝Path Wave IV曲線測定ソフトウェア「PW9251A」の概要／右＝PW9251Aの展示（3チャネル同時測定時）［クリックで拡大］ 出所：キーサイト

　開発の背景について、同社担当者は「高集積回路やモジュールは、SMUリソースが大量に必要で、SMU間に冷却スペースも設ける必要があるため、限られたラックスペースが埋まってしまうという課題がある。また、多チャネルの正確な測定にはSMU間の精密な同期が必要だった」と説明し、「PZ2100シリーズは、従来製品比で20倍チャネル密度が高いため、電子部品やRFFEM（フロントエンドモジュール）、量子コンピューティングなど幅広い分野の研究開発や設計、製造に必要な測定時間を短縮する」と語った。