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UVテープを開発、2次元材料を効率よく転写：半導体や絶縁体などへの適用も（2/2 ページ）

» 2024年02月15日 15時30分公開

[馬本隆綱，EE Times Japan]

2次元半導体のTMDなどにも適用可能

　開発したUVテープは、粘着剤などを最適化することにより、2次元半導体の遷移金属ダイカルコゲナイド（TMD）や、絶縁体の六方晶窒化ホウ素（hBN）にも適用できる。代表的なTMDである二硫化モリブデン（MoS₂）を転写したところ、三角形のグレインと全面膜がきれいに転写されていることや、このMoS₂を用いたトランジスタが良好に動作することを確認した。開発したUVテープを用いて、複数の2次元材料を重ねた積層構造を作製することもできるという。

2次元半導体（MoS2）と絶縁体（hBN）のUVテープ転写［クリックで拡大］出所：NEDO

　開発したUVテープを用いると、さまざまな材料や形状への転写が可能となる。MoS₂をキャッチしたテープを小さく切り離し、貼り付けたい位置に転写して電極を取り付ければ、多数のMoS₂デバイスを作製できる。しかも、必要なところにだけ貼り付ければ済むので、2次元材料自体の削減にもつながるという。柔軟性があるため、プラスチック製の眼鏡やフレキシブルなポリマー基板にも転写できる。MoS₂をグラフェン電極ではさんだ構造にすることも可能だ。

MoS₂をキャッチしたUVテープをカットしてパターン転写した例［クリックで拡大］出所：NEDO

UVテープを用いて転写した例［クリックで拡大］出所：NEDO

　プラスチック基板上に転写したグラフェンの応用例として、テラヘルツ波を用いたセンサーを作製した。空港などでのセキュリティなどに利用できるという。グラフェンデバイスは熱センサーとして応用できることも確認した。

テラヘルツ波を用いたセンサーへの応用例［クリックで拡大］出所：NEDO

2次元材料UVテープのライブラリー［クリックで拡大］出所：NEDO

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