半導体製造装置でも躍進する中国 日本はシェア低下を止められるのか：湯之上隆のナノフォーカス（74）（3/5 ページ）

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

装置メーカーの出荷額の5位以上と6位以下の差

　ここで、あらためて図5を見てみると、出荷額1位ASML（237億米ドル）および2位AMAT（204億米ドル）と、3位Lam（115億米ドル）および4位TEL（103億米ドル）には大差がついている。また、3位および4位と、6位KLA（76億米ドル）にも大きな差がある。さらに、5位以上と6位以下の間にも大差がついている。もっと簡単に言えば、5位以上と6位以下の間には、極めて大きな差がついている。

　ただし、図5では、6位以下の装置メーカーの挙動が分からないので、縦軸を対数にしたグラフを書いてみた（図7）。その結果、韓国のSEMESが成長してきていることが分かる。また、2016年以降、中国のNAURAが急成長しており、日本のLasertecも成長が著しい。さらに、2018年以降、中国のAMECが成長していることも分かった。

図7　主な前工程装置メーカーの出荷額の推移（対数グラフ）［クリックで拡大］ 出所：モルガンスタンレー証券のデータおよび筆者の調査を基に作成

中国NAURAが装置のランキングトップ10入り

　ここで、2000年以降の装置メーカーの売上高ランキングトップ10の推移を表にしてみた（図8）。まず、2007年以降、トップ5のプレイヤーが固定されたことが分かる。ただし、トップ5の中で、時々順位の入れ替えは起きている。

図8　半導体製造装置企業の売上高売上高トップ10の推移［クリックで拡大］ 出所：モルガンスタンレー証券のデータおよび筆者の調査を基に作成

　一方、6位以下では、毎年順位が激しく入れ替わっているが、2016年以降にSEMESがトップ10に入ってくるようになった。そして、2023年に、中国のNAURAが初めて8位にランクインした。

　中国の装置メーカーがトップ10に入るのは初めてのことである。従って、これは相当にエポックメイキングなことである。また、図4に示した各種前工程の出荷額について、2023年に多くの装置が減少する中、露光装置とPVD装置が増加していることを述べた。このPVD装置の増大は、どうやらNAURAの出荷額の増大に起因しているらしい。

　そして、もう1社の中国装置メーカーAMECは、2023年時点では17位であり、トップ10に入るには、まだ相当の時間がかかるかもしれない。しかし、既にニコンと同程度の売り上げとなっていることから、NAURAと同様に、AMECは、今後侮ることができない装置メーカーになるかもしれない。