半導体製造で用いた現像液を回収・再生する新工場：SN Techが開設、2025年度に稼働

長瀬産業とナガセケムテックス、Sachemの合弁会社「SN Tech」は2025年3月、半導体製造に用いた高純度現像液を回収し、再生するための新工場「SN Tech東大阪第二工場」を東大阪市に開設した。2025年度中に本格稼働の予定。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

東大阪第二工場に電解設備や精製設備を設置しTMAHを再生

　長瀬産業とナガセケムテックス、Sachemの合弁会社「SN Tech」は2025年3月、半導体製造に用いた高純度現像液を回収し、再生するための新工場「SN Tech東大阪第二工場」を東大阪市に開設したと発表した。2025年度中に本格稼働の予定。

　半導体製造では、フォトリソグラフィ工程において高純度の現像液（TMAH：テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）が用いられる。ただ、TMAHの再生には高度な電解・精製技術が必要で、回収して再生するのは極めて難しいといわれてきた。

半導体製造に用いた高純度現像液を回収し、再生するための流れ［クリックで拡大］ 出所：長瀬産業

　SN Techはこれまで、液晶パネルの製造に用いられてきたTMAHの回収や再生事業を展開してきた。新工場には、TMAHの製造や高純度化を行うための電解設備や精製設備を設置。半導体工場から回収した使用済み原料を基に、TMAHへ再生させるリサイクルを可能とした。