半導体工場の超純水用配管などをPFASフリー化へ：特殊オレフィン樹脂配管材を採用

栗田工業は、低溶出性の非有機フッ素化合物系資材を用いた配管・継ぎ手を積水化学工業と共同で開発、半導体工場などに設置される超純水用配管などのPFAS（有機フッ素化合物系）フリー化にめどをつけた。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

溶出性や微粒子発塵性、ガス透過性などはPVDF配管と同等性能

　栗田工業は2025年7月、低溶出性の非有機フッ素化合物系資材を用いた配管・継ぎ手を積水化学工業と共同で開発、半導体工場などに設置される超純水用配管などのPFAS（有機フッ素化合物系）フリー化にめどが立ったと発表した。

　PFASは水や油をはじく効果や耐薬品性、耐熱性に優れており、工場設備機器から消費者に向けた製品まで、幅広く採用されている。ところが、PFASの一部で有害性が指摘されており、水質や製造に関して規制が進んでいる。そこで同社も、PFASフリー部材の共同開発に取り組んできた。

　今回、低溶出性の超純水用配管などに向け、従来の有機フッ素樹脂（PVDF）に代わる資材として、積水化学工業が特殊オレフィン樹脂配管材を開発した。この資材を用いて配管や継ぎ手を試作した。

　栗田工業グループの研究開発・イノベーション創出拠点である「Kurita Innovation Hub（KIH）」に設置された超純水製造装置を用い、試作品の試験を行った。溶出性や微粒子発塵性、ガス透過性などを検証した結果、PVDFを用いた配管と同等性能であることを確認した。

開発した資材の実証実験を行ったKIHの超純水製造装置［クリックで拡大］ 出所：栗田工業

　試作品の実用化に向け今後は、海外を含む複数ユーザーに対し超純水製造装置へ、PFASフリー配管などの導入を提案していく。さらに、半導体工場向け装置以外への導入も視野に入れ、新たな企業との共同開発にも取り組む考えである。