半導体用の「沸騰冷却技術」 アプライドと九州大が実用化目指す : 実機環境で冷却性能を評価
アプライドは、九州大学と共同で次世代半導体の冷却や省電力化を可能にする「沸騰冷却技術」の実用化に取り組むと発表した。実機環境での検証を行い、研究成果の社会実装を加速させる。
PCおよび周辺機器の販売などを手掛けるアプライド(福岡市)は2026年4月20日、九州大学と共同で次世代半導体の冷却や省電力化を可能にする「沸騰冷却技術」の実用化に取り組むと発表した。実機環境での検証を行い、研究成果の社会実装を加速させる。
AIサーバや高性能コンピューティング(HPC)などに搭載される最新の半導体デバイスは、発熱量も大きく新たな冷却技術が求められている。今回の協業では、九州大学森研究室が開発する「ハニカム多孔体を用いた局所浸漬沸騰冷却技術」を、実際のコンピューティング環境に適用し、実用化に向けた検証を行っていく。
具体的には、「ハニカム構造を活用した沸騰冷却技術の高度化と最適化」や、「アプライド製ハードウェアによる性能検証」「データセンターや企業環境での実証運用」などを共同で行い、早期実用化を目指す。
先端半導体用フォトレジスト技術棟建設、住友化学
住友化学は、大阪工場(大阪市此花区)内にEUVレジストおよびArFレジストといった先端半導体用フォトレジストの製造プロセス開発や品質評価/分析などを行う機能を集約するための新たな「技術棟」を建設する。完成は2027年度末の予定だ。
半導体工場でのAI活用をグローバル展開 GFが示す道筋
製造業でAIの概念実証(PoC)が乱立する中、現場への実装やグローバル展開にまでつなげるにはどのような取り組みが必要なのか。GlobalFoundries(GF)のデジタル製造担当バイスプレジデント Sujieth Vaasan氏に聞いた。
半導体製造を支える高純度蛍石、回収SF6ガスから生成
住友電設は、名古屋工業大学と共同研究した成果を活用し、富山県高岡市に年間2トンの回収SF6(六フッ化硫黄)ガスを処理するための大型プラントを製作すると発表した。2026年4月からプラントの組み立てを始める。本格稼働すれば、年間2トンの回収SF6ガスから、年間3.2トンの蛍石を生成できる能力を持つことになる。
ボンド精度3μm、FUJIグループが次世代ダイボンダー開発
FUJIグループのファスフォードテクノロジは、開発を進める次世代ダイボンダー「XERDIA(ゼルディア)」の実機を、中国・上海で開催されるSEMICON China 2026(2026年3月25〜27日)で世界初公開する。同製品はボンド精度は3μm、生産性はUPH5500に向上するものだ。
「世界初」酸化ガリウムをSi基板にエピ成長、名大ら
名古屋大学とNU-Reiの研究グループは、酸化ガリウム(Ga2O3)のエピタキシャル成長に関する研究成果6件を、応用物理学会春季学術講演会(2026年3月15〜18日)で発表する。
次世代半導体製造プロセスを共同開発、エプソンとManz Asia
セイコーエプソンは、インクジェット印刷技術を応用した次世代半導体製造プロセスを共同開発するため、先端半導体パッケージング装置などを手掛けるManz Taiwan(以下、Manz Asia)と提携した。
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