TOTO、福岡に次世代セラミック品生産棟 投資600億円：29年度上期から生産開始予定

TOTOは、静電チャック、エアロゾルデポジション（AD）部材の次世代品を量産するための生産施設をTOTOファインセラミックス豊前工場（福岡県豊前市）の敷地内に新設する。

[杉山康介，EE Times Japan]

　TOTOは2026年10月30日、TOTOファインセラミックス豊前工場（福岡県豊前市）の敷地内に静電チャック、エアロゾルデポジション（AD）部材の次世代品を量産するための生産施設を新設することを発表した。投資額は約600億円で、2029年度上期から生産を開始する予定だ。

新設する生産施設の立地イメージ［クリックで拡大］出所：TOTO

製造装置向けセラミック部材に投資加速

　静電チャックは半導体製造装置のシリコンウエハー固定に使用する製品で、AD部材はエッチング工程の製造装置に搭載する製品だ。TOTOではこうした半導体製造装置向け部材を扱う「セラミック事業」を成長セグメントに位置付け、投資を進めている。耐プラズマ性を特長とするTOTOの静電チャックやAD部材は、メモリの多層化、ロジック半導体の微細化などに貢献するという。

　新設する生産棟は鉄骨造の3階建てで、建築面積約1万2000m²、延べ床面積約3万6000m²と、同社セラミック事業の生産施設として最大規模の建屋だという。豊前工場では静電チャック増産用の焼成棟も建設中で、2027年1月の完成を予定している。

　AD部材についてはTOTOサニテクノ中津工場、TOTOファインセラミックス中津工場（ともに大分県中津市）でも次世代品量産のための設備投資を行っていて、2028年度内の生産開始を見込む。TOTO茅ケ崎工場（神奈川県茅ケ崎市）には、2028年4月完成の予定で研究開発棟を建設中だ。

　TOTOは2026年4月に、茅ケ崎工場／中津工場／豊前工場の3拠点において2028年度までに約300億円の設備投資を行うと発表していたが、全ての投資計画が実行段階に入った結果、投資額は約330億円になったとする。なお、今回発表した豊前工場での約600億円の投資は、これに含まれない「さらなる生産増強に向けた大規模な投資計画」だとしている。

セラミック事業の投資ロードマップ［クリックで拡大］出所：TOTO