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半導体製造装置用セラミック事業で研究開発／生産体制を強化、TOTO：豊前工場には「焼成棟」を建設中

TOTOは、半導体製造装置用の「静電チャック」と「エアロゾルデポジション（AD）部材」について、研究開発と生産体制を増強する。既にTOTOファインセラミックス豊前工場（福岡県豊前市）では、静電チャック増産用の焼成棟を建設中で、2027年1月に竣工の予定だ。

» 2026年05月11日 13時30分公開

[馬本隆綱，EE Times Japan]

2028年度までに関連する3拠点で約300億円の設備投資を計画

　TOTOは2026年4月、半導体製造装置用の「静電チャック」と「エアロゾルデポジション（AD）部材」について、研究開発と生産体制を増強すると発表した。既にTOTOファインセラミックス豊前工場（福岡県豊前市）では、静電チャック増産に向け焼成棟を建設中で、2027年1月に竣工の予定だ。

　TOTOは中長期経営計画において、静電チャックやAD部材を主力製品とする「セラミック事業」を成長セグメントと位置付けている。今後もAI半導体やデータセンター向けデバイスの市場拡大によって、関連部材の需要増が見込めるからだ。

　同社セラミック事業の拠点としては、研究開発を行うTOTO茅ケ崎工場（神奈川県茅ケ崎市）と、製造を行うTOTOファインセラミックス本社中津工場（大分県中津市）および、TOTOファインセラミックス豊前工場がある。

　2020年10月には中津工場の第4棟が稼働。その後も継続的な投資を行うことにしている。具体的には、茅ケ崎工場、中津工場および豊前工場の3拠点で、2028年度までに約300億円の設備投資を行うことが既に決まっているという。その後も生産能力増強に向けて大規模な投資を行っていく計画である。

豊前工場に建設中の焼成棟完成イメージ図［クリックで拡大］出所：TOTO

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