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「EUV(極端紫外線)」関連の最新 ニュース・レビュー・解説 記事 まとめ

Extreme Ultra-Violet

FAニュース:
半導体技術の変革に対応、モリブデンの成膜や新たなプラズマ制御のエッチング装置
Lam Research(ラムリサーチ)はエッチング装置など半導体製造装置の新製品を発表した。(2025/5/16)

湯之上隆のナノフォーカス(81):
TSMCは誰のもの? 米国やAI偏重で懸念される「1本足打法」
TSMCの2025年第1四半期(1〜3月期)は好調で、同四半期としては過去最高を更新した。だがTSMCの売り上げを分析してみると、そこには明らかな「異変」があることが分かる。(2025/5/14)

少数でも「超大手」の顧客:
ファウンドリー事業への野心燃やすIntel 鍵は「18A」
IntelのCEOにLip-Bu Tan氏が就任して初めてとなる四半期決算が行われた。決算は当初の予想を上回る結果だったが、Intelが直面する深刻な状況に変わりはない。改善の鍵の一つとなるのがファウンドリー事業だ。(2025/5/2)

予測を上回る:
ASMLの25年Q1は増収増益、EUV好調も関税に強い懸念
ASMLは2025年4月16日(オランダ時間)、2025年第1四半期の業績を発表した。AIブームによって活気付いた強力な需要を受け、収益予測を上回る結果となった。(2025/4/23)

湯之上隆のナノフォーカス(80):
2035年のウエハー需要を予測する 〜半導体も「VUCA時代」に
米トランプ政権や中国「DeepSeek」の登場など、半導体市場の先行きを見通すことはますます困難になっている。本稿では、これらの不確定要素の影響を考慮しながら、今後10年間の半導体市場の予測に挑戦する。(2025/4/8)

2nmパイロットライン立ち上げ開始:
Rapidus、試作は25年7月以降 性能に自信も「楽観できない」
Rapidusは、2025年度の新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の研究開発事業の計画/予算承認を受けた。これを受け、2nmパイロットラインの立ち上げを開始する。(2025/4/3)

FAニュース:
ラピダス半導体工場の現状と今後、パイロットライン立ち上げ開始も「まだ一合目」
Rapidus(ラピダス)は、北海道千歳市で進む半導体工場「IIM(イーム)」建設の現状と今後の計画について説明した。(2025/4/3)

2025年内にも生産開始:
TSMCが2nm量産へ前進 競合引き離す
TSMCは、2024年12月に開催された「IEDM 2024」で、2nm世代のプロセス技術「N2」に関する論文を発表した。同社はN2プロセスでの量産を2025年内にも開始する予定だ。(2025/4/2)

組み込み開発ニュース:
次世代CPU向け1γDRAMノードベースのDDR5メモリ
Micron Technology(マイクロン)は、次世代CPU向け1γDRAMノードベースのDDR5メモリのサンプル出荷を開始した。データセンターやAI PC、スマートフォン、自動車など、幅広い分野での展開を見込んでいる。(2025/3/15)

消費電力を20%削減:
EUV初導入、Micronが「業界初」1γノードDRAMを発表
Micron Technologyは、1γ(ガンマ)ノードDRAM技術を採用したDDR5メモリのサンプル出荷を開始した。1γノードは、前世代である1β(ベータ)ノードと比べて、速度を15%改善。消費電力は20%以上削減し、ビット密度も30%以上向上した。(2025/3/6)

AIからスピントロニクスまで:
半導体業界 2025年の注目技術
編集部が選んだ2025年の注目技術を紹介する。(2025/3/3)

電子機器設計/組み込み開発メルマガ 編集後記:
低消費電力の国産EUV露光装置につながる新技術の開発秘話
沖縄科学技術大学院大学(OIST)の新竹積教授が語っています。(2025/2/25)

早期登録&来場でギフトカードもらえます:
製造業向けオンライン展示会 「ITmedia Virtual EXPO 2025 冬」開催中!
アイティメディアが主催する国内最大級の製造業向けオンライン展示会「ITmedia Virtual EXPO 2025 冬」が開催中です!(2025/2/18)

Intelの凋落、終わりなき分断:
2024年の半導体業界を振り返る
本稿では、2024年下半期(7〜12月)の半導体業界をEE Times Japanの記事とともに振り返る。(2025/1/31)

研究開発の最前線:
UVナノインプリントを活用しシリコンフォトニクス半導体プロセスを開発
東京科学大学工学院と東京応化工業は、UVナノインプリントを用いたシリコンフォトニクスプロセスを開発した。(2025/1/31)

高NA EUVスキャナーへの適用も可能か:
ラムリサーチのドライレジスト技術をimecが認定 28nmピッチBEOL向け
ラムリサーチ(Lam Research)は、パターニング技術である「ドライフォトレジスト(ドライレジスト)」が、2nmあるいはそれ以下のロジック回路における配線工程(BEOL)の「28nmピッチダイレクトプリント」に適格であることを、imecが認定したと発表した。(2025/1/23)

大原雄介のエレ・組み込みプレイバック:
Intelを待つ「いばらの道」 困難を極める根本的な改革
2024年12月1日付(米国時間)でIntelを去った元CEOのPat Gelsinger氏。同氏が去らざるを得なかった経緯と、これからのIntelについて考察してみたい。(2025/1/21)

湯之上隆のナノフォーカス(78):
2029年に「シンギュラリティ」が到来か 〜半導体は「新ムーアの法則」の時代へ
“まだまだ先”だと思っていた「シンギュラリティ」の到来は、ぐっと早まり、なんとあと5年以内にやってくるという。そこで本稿では、シンギュラリティが到来しているであろう2030年の半導体世界市場を予測してみたい。その頃には、チップ当たりではなく、パッケージ当たりの演算能力を指標にするような「新ムーアの法則」が、半導体の進化をけん引しているのではないだろうか。(2025/1/15)

報復措置でIntelが標的に?:
米国の厳しい対中規制 目的見失えば逆効果に
米国は2024年12月に、新たな対中輸出規制を発表した。この一撃は両国間の技術戦争においてこれまでで最も強力なものだが、アナリストによれば、その効果には疑問があり、米国のイニシアチブは不十分かもしれないという。(2025/1/9)

モノづくり総合版メルマガ 編集後記:
Rapidusが2nm GAAウエハーの試作品を展示 「特需」に期待の北海道
2025年4月のパイロットライン稼働に向けて業界内で注目度が高まる中、我が地元も盛り上がっています。(2025/1/9)

クイズで振り返る2024年のエレクトロニクス業界<第3問>:
2024年の印象的な出来事を「数字」で振り返る
2024年のエレクトロニクス業界を振り返る年末企画。今回は、2024年を象徴する「数字」をクイズ形式でみていきましょう。(2024/12/27)

2024年 年末企画:
編集者が選ぶ「2024年半導体業界の漢字」――「差」
2024年も間もなく終わりを迎えます。そこで、EE Times Japan編集部のメンバーが、半導体業界の“世相”を表す「ことしの漢字」を考えてみました。(2024/12/26)

約100億円投じ:
静岡に半導体パターニング材料開発の新設、メルク
ドイツの化学大手Merck(メルク)は、静岡事業所(静岡県掛川市)内に先端材料開発センター(AMDC)棟を建設する。2026年に運用を始める予定で、半導体パターニング材料の開発力を強化する。投資額は7000万ユーロ超(約100億円)だ。(2024/12/25)

研究開発の最前線:
静岡事業所に半導体パターニング材料を研究開発する施設を新設
Merckは、静岡事業所(静岡県掛川市)に先端材料開発センターを建設するため、7000万ユーロ超(約100億円)を投資する。(2024/12/25)

唯一の問題は買収価格:
2025年、Alteraを手に入れるのは誰だ
最近、IntelがAltera売却を実行に移すことを決意しているようだが、価格の高さが唯一の問題になっているという。2025年、Alteraを手にするのはどの企業だろうか。(2024/12/24)

「AI-RAN」の広範な展開、ヒューマノイドの席巻など:
夢があるが2025年に「実現しない」4つの技術トレンド――では、いつ実現する? ABI Researchが発表
ABI Researchは、期待が高いものの、2025年には実現しないと予想される技術トレンドを4つ取り上げて解説した。「AI-RAN」の広範な展開、消費者向けスマートグラスの大規模な普及、ヒューマノイドの席巻、半導体生産のオンショアリングだ。(2024/12/19)

FAメルマガ 編集後記:
夢中になれる幸せ
組織人が夢を持って大きなプロジェクトに携われることは、意外と少ない?(2024/12/17)

米の規制から逃れる一手となるか:
中国で高まるシリコンフォトニクスへの期待
複数の大手ファウンドリーと、中国の一部の企業が、シリコンフォトニクスの需要の波に備えているという。シリコンフォトニクスは、最先端の半導体製造プロセスを使わずとも製造できる。そのため、中国では「米国による半導体関連の規制を回避できる技術」として期待する向きもあるという。(2024/12/16)

材料技術:
EUVリソグラフィ向けフォトマスク上に2nm世代以降の微細なパターンの解像に成功
大日本印刷は、半導体製造の最先端プロセスであるEUVリソグラフィに対応した、2nm世代以降のロジック半導体向けフォトマスクに要求される微細なパターンの解像に成功した。(2024/12/16)

高NA向け評価用フォトマスクも提供:
EUV用フォトマスク上で2nm以降の微細パターン解像に成功、DNP
大日本印刷(以下、DNP)は2024年12月12日、EUV(極端紫外線)リソグラフィに対応した、2nmプロセス世代以降のロジック半導体向けフォトマスクに要求される微細なパターンの解像に成功したと発表した。さらに、高NAに対応したフォトマスクの基礎評価が完了し、評価用フォトマスクの提供も開始したという。(2024/12/13)

SEMICON Japan 2024:
徐々にベールを脱ぐRapidus新工場、最新の状況は?
半導体サプライチェーンの国際展示会「SEMICON Japan 2024」が開幕し、オープニングセッションには官民の主要メンバーが登場した。同セッションでは、Rapidus幹部による工場建設の現状報告に注目が集まった。(2024/12/12)

SEMICON Japan 2024:
日本は、世界はどうなる? 半導体製造装置市場の見通し
SEMIジャパンが行った「SEMICON Japan 2024」事前記者会見で発表された半導体製造装置市場の見通しについて説明する。(2024/12/10)

協業やM&Aで産業用AI拡大も狙う:
シーメンスが半導体事業を強化 全工程を「デジタルの糸」でつなぐ
シーメンスは都内で記者説明会を開催し、半導体事業を強化していくことをあらためて強調した。半導体設計/製造の全工程で同じデータを共有する「Digital-Thread(デジタルスレッド)」が重要になると語った。(2024/12/9)

約20億円投資し、1.3倍に拡大:
富士フイルム、熊本でCMPスラリーの生産能力増強
富士フイルムは、熊本県菊陽町の生産拠点で、半導体表面を平たんにする研磨剤「CMPスラリー」の生産設備を増強したと発表した。増設ラインは2025年1月より稼働の予定。これにより、同拠点におけるCMPスラリーの生産能力は約3割増える。(2024/12/9)

「SEMICON Japan 2024」事前情報:
「業界最大クラス」のFC-BGA基板やEUVフォトマスクなど展示 TOPPAN
TOPPANは、エレクトロニクス製造の国際展示会「SEMICON Japan 2024」でFC-BGA基板や次世代半導体パッケージ向け部材、EUVフォトマスクなど、半導体の前工程および後工程をカバーする幅広い製品やソリューションを紹介する。(2024/12/5)

「SEMICON Japan 2024」事前情報:
EUVフォトマスクやTGVガラスコア基板など幅広く紹介、DNP
大日本印刷(DNP)は、エレクトロニクス製造の国際展示会「SEMICON Japan 2024」に出展する。ブースではEUV(極端紫外線)リソグラフィ用フォトマスクや光電融合向けパッケージ基板などを紹介する予定だ。(2024/12/3)

Intelとの協業も後押し:
シリコンフォトニクスを強化するTower
ファウンドリーであるTower Semiconductorが、シリコンフォトニクス事業を強化している。同社はIntelファブを活用するなど、生産能力の強化とシリコンフォトニクスのシェア拡大に向けて着実に準備を進めている。(2024/12/2)

大山聡の業界スコープ(82):
TSMC一強に死角なし 半導体受託製造業界を分析
Samsung Electronicsの半導体事業の業績が伸び悩んでいる。筆者としては「ファウンドリー(半導体受託製造)事業の低迷がより大きな問題ではないか」と分析している。ファウンドリー業界ではIntelがファウンドリー部門の分社化を発表した。ファウンドリー業界は今どうなっているのか、今後はどうなるのか。探ってみる。(2024/11/14)

給付の遅れをIntelも指摘:
CHIPS法支援金の「駆け込み分配」が進む? トランプ政権移行前に
米国では、2025年1月のトランプ政権への移行を前に、バイデン政権がCHIPS法支援金の分配を急ぐ可能性がある。(2024/11/12)

ウエハーの非破壊検査も可能に:
レーザーで回路パターン検査を高速化 東大の技術を実用化へ
日立ハイテクは、東京大学が開発したレーザー励起光電子顕微鏡(Laser-PEEM)の有用性を確認できたことから、半導体検査装置として実用化するため共同研究に乗り出した。同装置を用いれば、従来に比べ回路パターンの検査工程を大幅に短縮でき、歩留まり向上に貢献できるという。(2024/11/11)

湯之上隆のナノフォーカス(77):
「ASMLショック」は空騒ぎ? 覚悟すべきは2025年のトランプ・ショックか
ASMLの2024年第3四半期決算は業績が「期待外れ」とされ、決算発表の翌日に株価が暴落。「ASMLショック」が広がったと報じられた。だが業績の推移を見れば、これが「ショック」でも何でもないことはすぐに分かる。それよりも注視すべきは、中国によるASML製ArF液浸露光装置の爆買い、そして何よりも「トランプ・ショックの到来」ではないだろうか。(2024/11/11)

製造マネジメントニュース:
AGCが当期純利益で1064億円の損失、ロシア事業譲渡やバイオ医薬品事業が影響
AGCは、オンラインで会見を開催し、2024年度(2024年12月期)第1〜3四半期(1〜9月)の決算を発表。2024年度第1〜3四半期の累計の売上高は為替による増収効果もあり前年同期比504億円増の1兆5342億円となった。営業利益は、原燃材料価格が下落したものの、オートモーティブやライフサイエンスなどでのコストの悪化により同15億円減の940億円だった。(2024/11/6)

静岡と韓国平澤の拠点で増産投資:
富士フイルム、EUV向けレジストと現像液を販売
富士フイルムは、ネガ型の極端紫外線(EUV)に向けたフォトレジストと現像液の販売を始める。これに合わせ、静岡と韓国平澤の2拠点でEUVレジストとEUV現像液の増産および品質評価に必要な設備を増強する。(2024/10/31)

製造マネジメントニュース:
2024年の半導体材料の世界市場は需要回復に伴い、前年比9%成長
富士経済は、AI技術などの発展に伴って需要が拡大している世界の半導体材料市場を調査し、その結果を発表した。2024年の同市場は、前年比で9%増を見込む。(2024/10/10)

史上15番目の大規模“太陽フレア”発生も地球への影響は限定的か
10月1日と3日に相次いで大規模な太陽フレアが発生し、地球の方向へのコロナガス放出も観測された。この影響で5日は長距離通信などに障害が発生する可能性がありそうだ。(2024/10/5)

グローバルな認知度向上を目指す:
トッパンフォトマスクが「テクセンドフォトマスク」に社名変更へ
トッパンフォトマスクは、2024年11月1日から社名を「テクセンドフォトマスク」に変更すると発表した。社名変更によってグローバルで認知度を高め、企業価値を浸透させることを目指すとしている。(2024/10/3)

研究開発の最前線:
富士フイルムが200億円をかけ国内拠点で半導体材料向け設備を増強
富士フイルムは、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズの静岡拠点と大分拠点で半導体材料向け設備の増強を行う。設備投資の総額は約200億円だ。(2024/10/1)

2024年見込みは470億ドル:
半導体材料市場、2029年に583億ドル規模へ
富士経済は、半導体材料について2029年までの世界市場を予測した。これによると、2024年見込みの470億米ドルに対し、2029年には583億米ドル規模に達する。新たなAI(人工知能)搭載機器の登場や、データセンター向けサーバの需要増加などにより、半導体材料市場は拡大が続く。(2024/10/1)

材料技術:
リンテック、EUV露光機用ペリクルの量産体制確立に見通し立つ
リンテックグループは以前から研究/開発を進めているEUV露光機用ペリクルの量産化の見通しが立ったことを明らかにした。(2024/9/30)

頭脳放談:
第292回 落日のIntel? いまIntelに何が起きているのか
Intelが大規模なレイオフを発表した。過去にも何度かレイオフを実施しているが、今回は少し様子が違うようだ。半導体の雄、Intelに今何が起きているのか、筆者が分析する。(2024/9/20)


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にわかに地球規模のトピックとなった新型コロナウイルス。健康被害も心配だが、全国規模での臨時休校、マスクやトイレットペーパーの品薄など市民の日常生活への影響も大きくなっている。これに対し企業からの支援策の発表も相次いでいるが、特に今回は子供向けのコンテンツの無料提供の動きが顕著なようだ。一方産業面では、観光や小売、飲食業等が特に大きな影響を受けている。通常の企業運営においても面会や通勤の場がリスク視され、サーモグラフィやWeb会議ツールの活用、テレワークの実現などテクノロジーによるリスク回避策への注目が高まっている。

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