「統合センサーで新たな価値創造」、ST社のMEMS事業責任者が戦略語る：センシング技術

[前川慎光，EE Times Japan]

　スイスSTMicroelectronics社でMEMS（Micro Electromechanical Systems）事業の責任者を務めているBenedetto Vigna氏は、本誌のインタビューに答え、今後の事業計画や新製品の開発計画について語った（図1）。

　現在、コントローラを振って遊ぶゲーム機や、方向を検知してディスプレイ表示を変える携帯電話機などに、MEMS技術を使ったセンサーが幅広く使われている。同社は、このような民生機器に向けたMEMS製品分野で、第1位の市場シェアを有する。加速度センサーや角速度（ジャイロ）センサーなどのMEMS製品を同社の中核事業と位置付け、品種拡充を続けてきた。2009年6月には1軸および2軸のジャイロ・センサーの品ぞろえを拡充した。2010年3月には3軸のジャイロ・センサーを市場に投入する。

図1　図1 STMicroelectronics社のBenedetto Vigna氏　同社のMEMS事業の立ち上げ時期から事業に携わってきた。現在、Group Vice President兼MEMS & Healthcare Product DivisionのGeneral Managerを務める。

　同氏は、現在注目する市場として自動車分野を挙げた。ドライブ・レコーダやカーナビ、車載情報端末、エアバッグ装置や車両制御システムへの各種センサーの搭載を目指す。自動車に搭載する部品は、過酷な環境でも動作する信頼性が求められる。同氏は、「これまで民生分野向けにMEMSセンサーを大量に製造してきた実績があり、蓄積した設計/製造のノウハウは膨大だ。不具合が発生しやすいポイントなどの弱みを熟知しており、これをMEMSセンサーの設計に生かすことで不良率を下げられる」と説明した。

　2008年第4四半期に自動車向け加速度センサーの量産を始めたのに続いて、2009年10月には同社にとって2品種目となる自動車向け加速度センサーを発売した。このほか、これまで実績がある民生分野にも引き続き注力する。「カーナビをさらに小型化した個人向けのパーソナル・ナビゲーション装置（PND）や、デジタル・カメラ、リモコンという新たな用途にも期待したい」（同氏）。

処理ソフトウエアも提供

　Vigna氏は将来の製品展望として、複数の異なるセンサーを1つの小型パッケージに統合する計画を明らかにした。加速度センサーやジャイロ・センサー、圧力センサーに加えて、マイコンを統合するもので、「iNEMO（iNErtial MOdule）」と呼ぶ。無線通信機能を搭載することも想定している。

図2　統合センサー「iNEMO」のデモ用基板　複数の異なるタイプのセンサーやマイコンを統合するというスマート・センサーを提案する。

　現在、複数の異なるセンサー・チップをプリント基板に実装したモジュールをコンセプト紹介用に提供している（図2）。2011年後半には、わずか50mm3程度のパッケージにすべてを実装する計画である。3軸加速度センサー素子と3軸ジャイロ・センサー素子を、THELMA（Thick Epitaxial Layer for Microgyro and Accelerometer）と呼ぶ独自のMEMS技術で1チップに集積することなどで小型にする。

　このほか、マイコンで動かすファームウエアやアプリケーション・ソフトウエアも同社が提供する計画である。「機器の小型化や、開発期間の短縮に役立つだろう。さらにはMEMSセンサーの新たな用途開拓につながると期待している」（同氏）STMicroelectronics社は、加速度センサーやジャイロ・センサー、圧力センサーといったさまざまセンサーおよびマイコンを自社製品群に有しており、この点が統合センサーの開発を進める上で、競合他社に対する優位点だとした。