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リオン、高粘度試料用液中微粒子測定システム発売原液のまま微粒子測定が可能に

リオンは、原液のまま高粘度試料の微粒子を測定できる「液中微粒子測定システム」を開発し、2019年10月より販売を始めた。

» 2019年10月04日 13時30分 公開
[馬本隆綱EE Times Japan]

測定作業の効率向上や不純物混入を防止

 リオンは2019年9月、原液のまま高粘度試料の微粒子を測定できる「液中微粒子測定システム」を開発し、2019年10月より販売を始めた。

 半導体デバイスの製造ラインでは、高粘度KrFや厚膜レジスト、ワニス、ポリイミドといった高粘度溶剤が用いられるようになった。ところが、従来の液中微粒子測定システムでは、測定できる試料の粘度に限界があり、希釈して測定するケースも出てきた。このため、作業効率が低下したり、試料に不純物が混入したり、試料が状態変化したりするなど、課題もあった。

 今回開発した高粘度試料用の液中微粒子測定システムは、試料を希釈せずに原液のまま測定することを可能にした。測定システムは、高粘度用加圧サンプラー「KZ-30U」、高粘度用に改良されたパーティクルセンサー「KS-42C(改)」、高粘度試料用シリンジサンプラー「HV-1」および、コントローラ「KE-40B1」などで構成される。

高粘度試料用の液中微粒子測定システムの外観

 HV-1は、粘度が5パスカル秒の試料まで測定することができる。このため、高粘度KrFや厚膜レジスト、ワニス、ポリイミドを原液のまま測定できることが可能である。さらに、耐圧は0.3MPaで、加圧サンプラーの上限である0.2MPaにも対応する。HV-1の価格(税別)は280万円である。

 高粘度試料に対応するパーティクルセンサーとしては、高粘度向けに改良したKS-42C(改)やXP-65などを用意している。これらの最大吸引可能粘度加圧は5パスカル秒である。定格流量は毎分3mL。最小可測粒径はKS-42C(改)が0.5μm、XP-65は0.2μmとなっている。

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