ローム、SiCパワーデバイスの生産能力強化：主要な生産工程を環境配慮型へ

ロームは、SiC（炭化ケイ素）パワーデバイスの製造拠点となるローム・アポロ筑後工場（福岡県筑後市）の新棟が完成したと発表した。製造に用いる電力を100％再生可能エネルギーで賄う環境配慮型の最新工場で、製造設備を順次導入し2022年の稼働を目指す。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

稼働は2022年、各種災害対策を導入

　ロームは2021年1月、SiC（炭化ケイ素）パワーデバイスの製造拠点となるローム・アポロ筑後工場（福岡県筑後市）の新棟の建屋が完成したと発表した。製造に用いる電力を100％再生可能エネルギーで賄う環境配慮型の最新工場で、製造設備を順次導入し2022年の稼働を目指す。

完成した新棟の外観

　同社は、SiC SBDやSiC MOSFETといったSiCパワーデバイスの量産を2010年に始めた。また、フルSiCパワーモジュールやトレンチ構造を採用したSiC MOSFETの量産で先行するなど、技術開発で業界をリードしてきた。

　製造面でも、グループ会社を含めていち早く一貫生産体制を構築し、ウエハーの大口径化や生産効率の改善に取り組んできた。同時に、BCM（事業継続マネジメント）体制を強化、環境負荷を軽減するためのモノづくりにも力を入れている。

　ローム・アポロ筑後工場では、SiCパワーデバイスの生産能力を強化するため、2019年2月に新棟の建設を始めた。新棟は、排熱を有効に活用する高効率の空調設備や純水製造設備、LED照明などを導入する。これにより、CO₂の排出量を従来設備に比べ20％（約7000t相当）も低減できるという。さらに、地震や浸水への対応をはじめ、ガス消火設備、非常用発電機を導入するなど、各種災害対策を備えた工場となっている。

左が免震構造、中央がガス消火設備、右が非常用発電機 出典：ローム

　なお、ドイツのグループ会社でSiCウエハーを製造する「SiCrystal」においても、再生可能エネルギーを100％利用した製造ラインの稼働を2021年度から予定している。これにより、SiCウエハーの主な生産工程は、全て再生可能エネルギーを利用した環境配慮型の生産体制となる。