「IMW2022」3D NANDの最前線 〜EUV適用から、液体窒素冷却の7ビット/セルまで：湯之上隆のナノフォーカス（51）（1/5 ページ）

半導体メモリの国際学会「International Memory Workshop2022（以下IMW2022）」から、筆者が注目した2つの論文を紹介する。Micron Technologyとキオクシアの論文で、いずれも3D NAND型フラッシュメモリに関する発表である。

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

3度目の正直、ドイツ・ドレスデンでの開催

　半導体メモリの国際学会「International Memory Workshop2022（以下IMW2022）」がドイツのドレスデンで5月15日〜18日に開催された（図1）。実はIMWは、2020年も2021年もドレスデンでの開催を目指していたが、コロナ禍ということもあり、完全バーチャルでの開催を余儀なくされた。

図1　「IMW2022」のProceedingsの表紙より 出所：International Memory Workshopの論文集の第1ページ

　しかし、3度目の正直となった2022年は、リアルとバーチャルのハイブリッドでの開催に漕ぎつけた（図2）。4人のOrganization Committeeは、コロナの状況を分析し、何とかリアル開催を行おうと、ギリギリまで懸命な努力をされたものと推察する（図3）。そのご苦労に、「お疲れ様でした」と感謝の意を表したい（筆者は、自宅のPCからオンデマンドで、のんびりと参加させて頂きました。なお、オンデマンドは5月末までと言われていたが、この原稿を書いている6月9日もまだ視聴可能となっている）。

図2　IMW2022は、ドイツ・ドレスデンでの現地開催とバーチャルの“ハイブリッド開催”となった 出所：International Memory Workshop 2022のOpeningの資料

図3　第14回のIMW2022のCommittee 出所：International Memory Workshop 2022のOpeningの資料

IMW2022の投稿論文と採択論文

　ことし2022年のIMWには、43件の論文が投稿され、16件が口頭発表に採択された（図4）。その採択率は37％となり、非常に狭き門であることがうかがえる。また、11件がポスター発表として採択され、口頭発表とポスター発表の合計は27件であり、その採択率は63％となった。

図4　IMW2022の投稿論文と採択論文 出所：International Memory Workshop 2022のOpeningの資料

　その他に、招待講演が8件、2分野のTutorialで合計5件の発表があった。従って、ことしのIMWは、合計で40件の発表があったことになる。

　採択論文の内訳をみると、Flashが18％、EEPROMが24％、MRAMが18％、RRAMが11％、PCMが8％、Special Technologyが8％、NVM applicationが13％となっている。あらゆるメモリで満遍なく発表があった印象を受けた（図5）。

図5　IMW2022の採択論文の内訳 出所：International Memory Workshop 2022のOpeningの資料

　ただし、2019年以降、投稿論文数が減少傾向にあることが気にかかる。過去に2012年には投稿論文が100件を超え、採択論文が40件になったこともあった。2019年以降の投稿論文の減少の背景には、コロナの影響もあるかもしれない。筆者はこの国際学会が気に入っているので、来年2023年以降、再び投稿論文数が上向くことを願っている。