半導体の微細化は2035年まで続く 〜先端ロジックのトランジスタと配線の行方：湯之上隆のナノフォーカス（55）（2/5 ページ）

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

半導体の微細化は2035年まで続く

　EUVを使った半導体の微細化のロードマップは、既に2020年のIEDMでimecが示している（図3）。それによると半導体の微細化は、次の4段階で進む。

1）　0.33NAのEUVによるシングル露光 → 32〜28nmピッチ
2）　0.33NA EUV＋マルチパターニング → 24〜20nmピッチ
3）　0.55NA（High NA）EUVのシングル露光 → 18nmピッチ位以降
4）　0.55NA（High NA）EUV＋マルチパターニング → さらに微細なピッチ

図3：0.33 NAと0.55 NAのEUVを使った微細化のロードマップ［クリックで拡大］ 出所：Sri Samavedam（imec）, “Future Logic Scaling: Towards Atomic Channels and Deconstructed Chips”, IEDM2020.のスライドに筆者加筆（赤枠と矢印および番号）

　このようなシナリオで、半導体の微細化が進んだ場合、スローダウンはしつつも、2035年まで半導体の微細化が続くことを、2022年のVLSIシンポジウムでASMLが示した（図4）。

図4：半導体の微細化はスローダウンしつつも2035年まで続く［クリックで拡大］ 出所：Michael Lercel (ASML), “Lithography and Patterning for 3nm node and beyond”, SemiconWest 2022.のスライドに筆者加筆

　現在最先端のTechnology NodeはN5で、最も微細な配線のピッチは32nmである。恐らく、High NAは、2025年の「N2」（微細配線ピッチ24nm）辺りから登場すると思われる。そして、2035年にはそのTechnology Nodeが「A5」となり、微細配線ピッチは15nmになることが示されている。なお、Technology Nodeの“A”はオングストローム（Å）を意味するものと思われる。

　ことし2022年から13年後の2035年まで半導体の微細化は続く。もちろんこれはHigh NAが計画通りに実用化されたらの話ではあるが、この図3が、2022年のVLSIシンポジウムの中で、筆者にとって最も印象的なスライドとなった。

ロジック半導体のトランジスタのロードマップ

　2019年にEUVが微細化の扉をこじ開けた。そして、High NAが登場すれば、半導体の微細化は2035年まで続く。その微細加工技術を使って、先端ロジック半導体のトランジスタや微細配線は、どのように進化を遂げるのだろうか？

　図5は、2020年のIEDMでimecが示したロジック半導体のトランジスタや微細配線のロードマップである。トランジスタ構造は、3nmから2nmにかけてFinFETからGate-All-Around（GAA）構造のNanosheetsに変わる。そして、フォークのような形状のForksheetsを経て、1.5nm以降にpMOSとnMOSを縦に形成するComplementary FET（CFET）となることが示されている。さらに1nmとそれ以降については、2D channelsという全く異なるトランジスタ構造になると予測している。

図5：先端ロジックのトランジスタや配線のロードマップ（imec）［クリックで拡大］ 出所：Sri Samavedam（imec）, “Future Logic Scaling: Towards Atomic Channels and Deconstructed Chips”, IEDM2020.

　ここで、CFETは、（筆者の記憶によれば）2017年頃からimecが発表し始めたCMOSであるが、このような複雑な構造をどうやって形成するのか、このCMOSを数十〜数百億個以上集積したロジック半導体は本当に動作するのか、などの疑問を持っていた。しかし、2017年以降もimecは毎年、CFETの発表を継続してきた。ことしのVLSIシンポジウムでもimecは、N3からNanosheetsになり、Forksheetsを経て、「A7」からCFETになるという新たなロードマップを発表した（図6）。

図6：先端ロジックのトランジスタのロードマップ（imec）［クリックで拡大］ 出所：Pieter Schuddinck（imec）, “PPAC of sheet based CFET configurations for 4 track design with 16nm metal pitch”, VLSI2022, T10-2.

　そして、とうとう、そのCFETが、TSMCのトランジスタのロードマップに記載された（図7）。研究機関であるimecがロードマップにCFETを掲載していることと、実際にファウンドリーとしてロジック半導体の大量生産を行っているTSMCが自社のロードマップにCFETを乗せたこととは意味合いが大きく異なる。筆者は、TSMCが、GAAの次にCFETを採用する覚悟を決めたのだろうと感じた。その時期は、imecのロードマップを参考にすればA7からで、2030年以降になると思われる。

図7：TSMCのトランジスタのロードマップ［クリックで拡大］ 出所：Yuh-Jier Mii（TSMC）, “Semiconductor Innovations, from Device to System”, VLSI2022, P2-2.のスライドに筆者加筆