同社が2022年9月から提供しているソリューションプラットフォーム「Lithography Plus」を導入することで、MS-001や半導体露光装置の稼働状況に関する情報を収集/確認できる。MS-001が取得する計測データと、Lithography Plusに集めた情報を照らし合わせモニタリングすることで、ウエハー上のアライメント情報の変化を検出し、半導体露光装置での自動補正や、アライメント計測から露光までの工程の集中管理が可能となり、CoO(Cost of Ownership)の低減に貢献する。
Rapidusとimecが最先端半導体の研究開発で協業へ
Rapidus(ラピダス)とベルギーimecは2022年12月6日、MOC(Memorandum of Cooperation/協力覚書)を締結したと発表した。この同意の下、両者は先端半導体の研究開発において長期にわたる協業を行う計画だ。これに伴い、同日には経済産業省内で、Rapidus 代表取締役社長 小池淳義氏とimecのプレジデント兼CEOであるLuc Van den hove氏によるMOCの署名式が行われた。