日本の前工程装置のシェア低下が止まらない 〜一筋の光明はCanonの戦略：湯之上隆のナノフォーカス（63）（3/4 ページ）

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

日本の前工程装置のシェア低下が止まらない

　図5に、前工程装置の地域別シェアを示す。2022年は、米国が49.0％、日本が24.0％、欧州が21.3％、韓国が2.1％、中国が0.4％だった。

図5　前工程装置の地域別シェア（〜2022年）［クリックで拡大］ 出所：三菱UFJモルガンスタンレー証券、野村証券のデータ、筆者の調査を基に作成

　米国が2020年以降、シェアを増大させている。その一方、2010年頃まで35〜40％付近で米国とトップシェア争いをしていた日本は、その後急激にシェアを低下させ、2018年に持ち直したかに見えたが、2019年以降もジリ貧状態である。2022年は、2021年からも2ポイント下がってしまった。

　なぜ、日本の前工程装置のシェアが下がるのか？

　この原因を突き止めるために、各種前工程装置について、2011年と2020〜2022年のシェアをグラフにしてみた（図6）。この図から、唯一マスク検査装置だけが大幅にシェアを増出させているが、ほぼ全ての前工程装置が、2011年から2020〜2022年にかけてシェアを落としていることが分かる。

図6　日本の前工程装置のシェア（2011年、2021〜2022年）［クリックで拡大］ 出所：三菱UFJモルガンスタンレー証券、野村証券のデータ、筆者の調査を基に作成

　特に、シェアの低下が大きいのは、露光装置、ドライエッチング装置、CVD装置、スパッタ装置、バッチ式洗浄装置、CD-SEMである。惨憺たるありさまとしか言いようがない。各装置において、シェアの低下を止めないと、手遅れになるのではないかと危機感を覚えるほどだ。

　では、日本の前工程装置産業に何か希望の光はないのだろうか？　ここで、2021年に5.4％だった日本の露光装置のシェアが、2022年に8.2％に上昇していることに気付いた。ここに一筋の光明があるかもしれない。

どん底に落ちたかに見えた露光装置だが……

　1990年代に、NikonとCanonが露光装置の出荷額のシェア合計で約80％のシェアを独占していた時代があった。しかし、2000年頃から台頭してきたASMLに駆逐され、日本のシェアは10％以下に落ち込んだ^注1）。

　ところが、露光装置の出荷台数の企業別シェアをグラフにしてみると、日本企業が健闘していることが分かった（図7）。3社ある露光装置メーカーのうち、出荷額シェアで90％以上を独占しているASMLは、出荷台数シェアでは60％前後である。

図7　露光装置の出荷台数の企業別シェア（〜2022年）［クリックで拡大］ 出所：三菱UFJモルガンスタンレー証券のデータを基に筆者作成

　一方、2011年に23.7％の出荷台数シェアがあったNikonは、2022年に6.8％に落込んだ。ところが、もう1社の日本企業のCanonは、順調に出荷台数シェアを増大させ、2022年には31.5％を占めるに至った。これはおおむね、ASMLの半分に相当する。つまり、露光装置の出荷台数では、Canonが善戦していると言える。

　では、Canonは、どの露光装置で勝負しているのだろうか？

注1）NikonとCanonがASMLに敗北した原因については、以下の文献を参照ください。湯之上隆『いつまでも「職人芸」では海外メーカーに勝てない　日本の半導体製造装置はなぜスループット、稼働率が劣るのか』（JBPRESS、2010年9月24日）