昭和電工が高品質SiCウエハーを増産、月産9000枚へ：今回で3回目の追加投資へ

[松本貴志，EE Times Japan]

　昭和電工は2018年7月3日、SiC（炭化ケイ素）エピタキシャルウエハー（以下、エピウエハー）の高品質グレード品である同社製品「ハイグレードエピ」について、増産を決定したと発表した。

SiCエピウエハーを紹介する同社Webページ

2017年9月、2018年1月と2回の増産に続き、3回目の増産へ

　同社は2017年9月に1回目の、2018年1月に2回目のハイグレードエピ増産を決定しており、今回が3度目の生産能力引き上げとなる。同製品の月間生産能力は、2018年7月時点での5000枚（1200V耐圧用デバイス仕様換算）から、同年9月には7000枚に拡大し、2019年2月には9000枚に到達する。

　ハイグレードエピは、直径4インチと同6インチの製品ラインアップをそろえ、「業界最高水準である欠陥密度の低さと高い均一性において高い評価」（同社）を顧客より得ているとする。今回の追加増産決定について、同社は「SiCパワー半導体市場の急成長に伴う顧客からの旺盛な需要に応えるため」と説明している。

　増産に関する投資金額は非開示。今後の増産方針について、同社広報担当者は「現時点で特段決定した事項はない。一方で、市場の成長は継続しているため、市場の動向を注視しつつ今後の対応を検討していきたい」と述べている。