日本の前工程装置のシェアはなぜ低下？ 〜欧米韓より劣る要素とは：湯之上隆のナノフォーカス（53）（2/5 ページ）

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

装置メーカーの売上高ランキング

　ここまでの分析で市場規模の大きい装置分野は、欧米の装置メーカー4社がシェアを独占していることが分かった。それでは、いつ頃から、この4社がシェアを独占するようになったのだろうか？

　図4に、2000年から2021年までの装置メーカー売上高ランキング・トップ10を示す。この図から、ランキングのトップ5が、AMAT、ASML、Lam、東京エレクトロン（TEL）、KLAに固定されたのは、2007年以降であることが分かる。

図4：装置メーカーの売上高ランキング・トップ10（2000〜2021年）［クリックで拡大］ 出所：電子ジャーナルの『半導体製造装置データブック』および野村証券のデータを基に筆者作成

　ただし、トップ5の中での順位が時々入れ替わっている。例えば、ランキング1位に君臨しているのはAMATであるが、2011年に1度だけASMLがトップに立った。また、2000年から2008年まで2位が定位置だったTELは、その後、次第に順位を下げ、2015年以降は4位になっている。

　その結果、2017年から2021年までは、1位AMAT、2位ASML、3位Lam、4位TEL、5位KLAの順位で移行している。

　このように2007年以降はトップ5が固定されたが、トップ6位以下は、毎年、目まぐるしく順位が変動している。その中で、2013年以降、洗浄装置で世界シェア1位のSCREENが6位を占めるようになった。ところが、2016年に初めてトップ10にランクインした韓国のSEMESが、2021年にSCREENに替わって6位に躍進した。

　少し脇道に逸れるが、SEMESの生立ちやその成長の経緯について、以下で説明する。

SEMESの生立ち

　Samsung Electronics（以下、Samsung）は1993年にDRAMの企業別売上高で世界1位に躍り出た。そのSamsungは、Nikon、TEL、大日本スクリーン製造（略してDNS、後のSCREEN）など日本の装置メーカーに、Samsung向けの装置は韓国内でつくるように求めてきたという。

　しかし、多くの日本メーカーは、技術流出を恐れてそれを拒否した。ところが、SCREENだけはSamsungの要求に応じて、1993年1月にSamsungと合弁でK-DNSを設立した。K-DNSとは「KoreaのDNS」という意味であろう。そしてK-DNSには、SCREENの技術者が多数派遣され、Samsung用の洗浄装置はここで生産されることになった（図5）。

図5：SCREEN（旧DNS）とSEMES（旧K-DNS）の装置の売上高［クリックで拡大］ 出所：電子ジャーナルの『半導体製造装置データブック』および野村証券のデータを基に筆者作成

　実際に、現地生産された洗浄装置の1号機は、1994年5月にSamsungの器興工場に納入された。その後もK-DNSはSamsung用の洗浄装置を供給し続けた。そのK-DNSは、2005年1月に社名を「SEMES」に変更した。SEMESの“SE”は、Samsung Electronicsの頭文字である。

　さらに2010年にはSCREENはSEMESの持ち株を売却し（というよりSamsungに買い取られ）、SEMESはSamsungの100％子会社となった。これを機に、Samsungの洗浄装置は全てSEMES製となり、SCREENは1台もSamsungに装置を供給できなくなったという話が伝わってきた。要するに、SCREENは軒を貸して母屋を乗っ取られてしまったわけだ。

　そして、2021年にとうとう装置の売上高で、僅差ではあるがSEMESがSCREENを追い越してしまったというわけでである。

　さて、話を元に戻す。以下では、主な装置メーカーの売上高推移を見てみよう。

主な装置メーカーの売上高推移

　図6に、欧米日韓の主な装置メーカーの売上高推移を示す。多くの装置メーカーが、2000年のITバブルの時に大きなピークがあり、2008年のリーマンショック後に落ち込み、2018年のメモリバブル時にピークがあり、2019年のメモリ不況後、2020年のコロナ騒動などとは関係なく、売上高を増大させているように見える。

図6：主な装置メーカーの売上高推移（2000〜2021年）［クリックで拡大］ 出所：電子ジャーナルの『半導体製造装置データブック』および野村証券のデータを基に筆者作成

　そして2013年以降は、AMAT、ASML、Lam、TELのトップ4と5位のKLAの差が開き、また5位のKLAと6位以下の差も拡大している。マラソンに例えるなら、先頭集団がAMAT、ASML、Lam、TELの4社で、少し離れて5位にKLAが位置し、さらに離れたところに6位以下の第2集団が形成されている、というところだろう。

　そこで、以下では、5位以上の装置メーカーと、6位以下の装置メーカーに分けて、その成長性に着目して分析を行いたい。