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磁性材料や電磁材料のインライン評価を実現、東北大：1～3nmの極薄膜にも対応

　2023年1月4日、東北大は磁性材料、誘電材料の評価受託およびコンサルタントを行う新会社「Tohoku-TMIT（Tohoku Measuring Instrumentation Technologies）」を設立したと発表した。

» 2023年01月05日 13時30分公開

[半田翔希，EE Times Japan]

　新会社は、高速無線通信用材料をインライン（製品を生産する流れ工程）で評価する独自技術をコアにし、電磁材料の透磁率や誘電率の評価受託とプローブ販売を行う。

5G 等の電磁材料製造ラインで材料をインライン評価［クリックで拡大］出所：東北大

　近年、5G（第5世代移動通信）やIoT（モノのインターネット）の急速な普及に伴い、磁気センサー、パワーデバイス、磁気メモリ、電波吸収体向けの磁性材料に対する需要が高まっている。これら製品の性能は、磁性体や誘電体の材料特性が直結するにも関わらず、磁性材料や電磁材料の高周波特性をインライン（製品を生産する流れ工程）で評価することは困難だった。これに対し、東北大学大学院医工学研究科兼大学院工学研究科教授の薮上信氏と同学術研究員の沖田和彦氏は、インラインで磁性材料や電磁材料の高周波特性を評価できる新技術「MSLプローブ法」を開発。新技術はサンプルの大きさや形状に依存しない測定や1～3nmの極薄膜の評価もできるため、集積回路用の12インチウエハーへの適用も期待される。

他方法との比較［クリックで拡大］出所：東北大

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