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日本電熱、熱制御機器の新工場で量産開始：半導体製造装置向け

日本電熱は2023年3月7日、半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟の稼働を開始したと発表した。生産能力は1.5倍になる見込みだ。

» 2023年03月20日 11時30分公開

[半田翔希，EE Times Japan]

　エア・ウォーターのグループ会社で、各種電熱機器の製造／販売を手掛ける日本電熱は2023年3月7日、半導体製造装置用の熱制御機器の増産のために建設を開始していた本社（長野県安曇野市）工場内の新棟が完成、稼働を開始したと発表した。投資額は、生産設備費を含めて約35億円。延べ床面積は6260m²で、生産能力は従来比で1.5倍になる見込みだ。

稼働を開始した新棟［クリックで拡大］出所：日本電熱

　今回稼働を開始した新棟は、昨今の半導体や半導体製造装置の需要増、ならびに半導体の微細化／積層化に伴い重要性が増している熱制御技術を、国内大手半導体製造装置メーカーに提供するために2022年1月から建設していたものだ。

　日本電熱はリリースで、「長年培った熱の制御技術を強みとして、ウエハーを均一に加熱する熱板や冷却用のクーリングプレートなど、半導体の製造工程で不可欠な熱制御機器を提供している。今後も、高精度な製品の提供を通じて、スマート社会の実現に貢献していく」と語った。

新工場で生産する半導体装置向けホットプレート（左）と半導体装置向けヒーター（右）［クリックで拡大］出所：日本電熱

TSMC熊本工場向けに、半導体材料拠点を新設へ
エア・ウォーターは2023年2月28日、熊本県菊池郡大津町にエレクトロニクス関連事業のグループ複合拠点を新設すると発表した。TSMCの熊本工場建設に伴い伸長する半導体材料需要を獲得する狙いだ。
ダイヤモンドと接合したGaNで、トランジスタ作製
大阪市立大学と東北大学、エア・ウォーターらの研究グループは、ダイヤモンドに直接接合した窒化ガリウム（GaN）を約800℃で熱処理し、GaNトランジスタを作製することに成功した。
1μm厚の3C-SiC、熱伝導率がダイヤモンドを上回る
大阪公立大学とイリノイ大学、エア・ウォーター、東北大学および、ジョージア工科大学の研究グループは、半導体材料「3C-SiC」（立方晶の炭化ケイ素）が、結晶の純度や品質を十分に高めることで、理論値相当の高い熱伝導率を示すことが分かった。
「スピンはしご系銅酸化物」の配向成膜技術を開発
東北大学は、東京電機大学との共同研究により、磁性原子がはしご状に配列した「スピンはしご系銅酸化物」の配向成膜技術を開発した。この技術を電子デバイスに応用すれば効率的な排熱制御が可能になるという。
東北大、スピン熱伝導物質のナノシート化に成功
東北大学の研究グループは、アルカリ溶液を用いる手法で、スピン熱伝導物質をナノシート化することに成功した。熱の流量を制御できる「熱伝導可変材料」の開発や、熱制御デバイスへの応用が期待される。