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レゾナック、山形にSiC基板とエピウエハー生産の新拠点設置へ2025年3Qに完成予定

レゾナックは2024年9月13日、山形県東根市の山形工場にパワー半導体向けSiC(炭化ケイ素)ウエハーの生産建屋を新設すると発表した。2025年第3四半期の完成を予定している。

» 2024年09月13日 19時42分 公開
[永山準EE Times Japan]

 レゾナックは2024年9月13日、山形県東根市の山形工場にパワー半導体向けSiC(炭化ケイ素)ウエハーの生産建屋を新設すると発表した。2025年第3四半期の完成を予定している。

SiCウエハー新生産拠点の完成イメージ図 SiCウエハー新生産拠点の完成イメージ図[クリックで拡大] 出所:レゾナック

 新拠点を設置するのは、子会社であるレゾナック・ハードディスクの山形工場内で、建築面積は5832m2。SiCウエハー(基板およびエピタキシャル)の生産を行う。レゾナックは2023年6月に経産省から、経済安全保障推進法に基づく特定重要物資である半導体部素材(SiCウエハー)の供給確保計画の認定を受けていて、今回はその一環。経産省に認定された供給確保計画では、栃木県小山市、滋賀県彦根市、山形県東根市、千葉県市原市の拠点におけるSiCウエハー生産能力強化に309億円を投じる予定としていて、経産省は最大103億円を助成する。

 計画ではSiCウエハー(基板)については小山市、彦根市、東根市で2027年4月に供給を開始、生産能力は年間11万7000枚(6インチ換算)、SiCエピウエハーについては市原市、東根市で2027年5月に供給を開始、生産能力は年間28万8000枚(同)となる予定としている。

 同社は、2024年9月12日、建設予定地の山形工場で起工式を実施した。

起工式の写真 起工式の写真[クリックで拡大] 出所:レゾナック

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