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レゾナック、山形にSiC基板とエピウエハー生産の新拠点設置へ：2025年3Qに完成予定

レゾナックは2024年9月13日、山形県東根市の山形工場にパワー半導体向けSiC（炭化ケイ素）ウエハーの生産建屋を新設すると発表した。2025年第3四半期の完成を予定している。

» 2024年09月13日 19時42分公開

[永山準，EE Times Japan]

SiCウエハー新生産拠点の完成イメージ図［クリックで拡大］出所：レゾナック

　新拠点を設置するのは、子会社であるレゾナック・ハードディスクの山形工場内で、建築面積は5832m²。SiCウエハー（基板およびエピタキシャル）の生産を行う。レゾナックは2023年6月に経産省から、経済安全保障推進法に基づく特定重要物資である半導体部素材（SiCウエハー）の供給確保計画の認定を受けていて、今回はその一環。経産省に認定された供給確保計画では、栃木県小山市、滋賀県彦根市、山形県東根市、千葉県市原市の拠点におけるSiCウエハー生産能力強化に309億円を投じる予定としていて、経産省は最大103億円を助成する。

　計画ではSiCウエハー（基板）については小山市、彦根市、東根市で2027年4月に供給を開始、生産能力は年間11万7000枚（6インチ換算）、SiCエピウエハーについては市原市、東根市で2027年5月に供給を開始、生産能力は年間28万8000枚（同）となる予定としている。

　同社は、2024年9月12日、建設予定地の山形工場で起工式を実施した。

起工式の写真［クリックで拡大］出所：レゾナック

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