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東京エレクトロン宮城、新開発棟が完成 建設費は520億円エッチング装置の開発を加速

東京エレクトロンの開発/製造子会社である東京エレクトロン宮城の新開発棟(宮城県大和町)が完成した。延べ床面積は延べ床面積は約4万6000m2、建設費用は約520億円だ。

» 2025年04月28日 10時30分 公開
[浅井涼EE Times Japan]

 東京エレクトロンは2025年4月24日、同社の開発/製造子会社である東京エレクトロン宮城の新開発棟(宮城県大和町)が完成したと発表した。

東京エレクトロン宮城の新開発棟 東京エレクトロン宮城の新開発棟[クリックで拡大]出所:東京エレクトロン

 2023年6月に建設を開始した新開発棟は地上3階建てで、延べ床面積は約4万6000m2。建設費用は約520億円だ。

 東京エレクトロン宮城が装置の開発/製造を手掛けるエッチング装置は、半導体の微細化や複雑化が進む中で大きな成長が見込まれる。東京エレクトロンは新開発棟について「次世代開発の在り方を実現するため、安全/品質/環境を優先とした開発はもちろん、デジタル技術活用による開発の高度化や高効率な開発オペレーションを行う」「顧客が求める付加価値が高く高品質な製品をよりタイムリーに提供することを通じて、中長期における持続的な成長と社会の発展に貢献する」としている。

 なお、東京エレクトロン宮城は生産棟も新しく建設することを決定している。建設費用は約1040億円で、2027年夏の完成を予定している。

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